[实用新型]一种微波爆料机有效
申请号: | 201721357235.1 | 申请日: | 2017-10-20 |
公开(公告)号: | CN207391601U | 公开(公告)日: | 2018-05-22 |
发明(设计)人: | 刘英江;李德建;黄永恩;李朝阳;申朝伦;毕磊;米东方;张志耀 | 申请(专利权)人: | 河北宁通电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 石家庄元汇专利代理事务所(特殊普通合伙) 13115 | 代理人: | 张建茹 |
地址: | 055550 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 微波 爆料 | ||
本实用新型公开了一种微波爆料机,属于多晶硅拉晶工艺技术领域。该装置用于大块多晶硅原料的加热工序,包括借助支架固定的加热箱体及加热箱体的电路控制系统,电路控制系统与电源连接,加热箱体的一侧边开有箱门,还设置有微波发生器和控制器,微波发生器的能量输出端连接设置有磁控管,磁控管伸入加热箱体内且固定于加热箱体的内壁上,加热箱体的内部设置有用于放置多晶硅原料的物料盒,控制器的信号输出端分别连接加热箱体的电路控制系统和微波发生器的信号输入端。提高原料破碎的效率,提升产量以满足拉晶车间的使用,降低人工成本,并且具有料损低、节能省电的优势。
技术领域
本实用新型属于多晶硅拉晶工艺技术领域,涉及用于二次加料的小块多晶硅原料的加工设备,特别是用于原料加热的一种微波爆料机。
背景技术
拉晶车间在装料时需要一部分小块多晶硅原料,在二次加料中使用。现有技术下,这部分小块多晶硅原料通过水爆料机对大块料进行高温加热,经过高温加热的大块料投入到冷水中,通过温差进行碎料,使大块原料变为小块,但是现有爆料机生产的产量有限且人工成本高,现有技术下爆料机通过热电阻进行加热,热辐射到硅原料达到升温的目的,热转化率只有60%,其余热量在冷却水或者周围环境中散失,热能转化效率低,物料升温慢,功耗较大、时间长,大约1小时才能达到升温的目的。随着单晶炉投料量的增加,水爆料机的产能已不能满足拉晶车间的正常使用。
实用新型内容
本实用新型为了解决上述问题,设计了一种微波爆料机,提高原料破碎的效率,提升产量以满足拉晶车间的使用,降低人工成本,并且具有料损低、节能省电的优势。
为了实现上述目的,本实用新型所采取的技术手段是:
一种微波爆料机,该装置用于大块多晶硅原料的加热工序,包括借助机架固定的加热箱体及加热箱体的电路控制系统,电路控制系统与电源连接,加热箱体的一侧边开有箱门,关键点在于,该装置还设置有微波发生器和控制器,微波发生器的能量输出端连接设置有磁控管,磁控管伸入加热箱体内且固定于加热箱体的内壁上,控制器的信号输出端分别连接加热箱体的电路控制系统和微波发生器的信号输入端。
所述的加热箱体的底部后侧设置有气压顶缸,气压顶缸工作时将加热箱体后方顶起使其倾斜一定角度,气压顶缸的控制输入端与控制器的控制输出端相连接。
所述的磁控管分布在加热箱体内部的顶面和后侧面。
所述的加热箱体的内部设置有用于放置多晶硅原料的物料盒,物料盒由石英陶瓷板拼装构成。
所述的加热箱体包括加热腔体及其内外侧均设置的保温隔热层,所述的加热腔体为不锈钢板,保温隔热层材料为保温棉,加热腔体外侧的保温隔热层厚度为30mm。
所述的箱门为上下推拉的气筒提升门并且设置有箱门开关连锁保护装置,箱门上也设置有保温隔热层,保温隔热材料为保温棉,箱门控制开关与控制器的控制输出端相连接。
所述的箱门上设置有防微波泄漏装置,该防微波泄漏装置包括位于箱门内的不锈钢屏蔽网。
本实用新型的有益效果是:该装置取代传统的水爆料机,通过高频微波直接作用于物料,物料原子高频振荡迅速升温,因此可适当增加投料量且不影响加热时间。利用微波加热大块多晶硅,相较于传统的加热工艺效率更高、更环保,采用控制器控制微波爆料机的运转,节省了大量的人力。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
图中,1、机架,2、加热箱体,3、微波发生器,4、控制器,5、气压顶缸。
具体实施方式
本实用新型为一种微波爆料机,该装置用于大块多晶硅原料的加热工序,改变传统的水爆料机,以微波进行加热,多晶硅原料升温更快速,效率更高,下面结合附图和具体实施例对本实用新型做进一步说明。
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