[实用新型]一种超高真空热处理炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种热处理炉，尤指一种超高真空热处理炉。

背景技术

随着高能加速器、热核反应、半导体研究、空间探索、表面研究等现代科学技术的迅猛发展，真空的应用领域也得到了快速拓展。如今，真空技术逐步由低真空向高真空、超高真空快速发展，有油系统向无油系统快速发展，同时，与此密切相关的控制、测量、分析等技术也被要求向着自动化、数字化、智能化的方向发展。目前国内生产厂家已有的真空热处理炉大多涉及低真空或高真空且运行多年，设备存在繁冗，自动化程度不高，生产效率低，人工操作繁琐，污染防护不完善，操作安全性不高等缺点，已不能满足现有厂家的需求，有待改善。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种超高真空热处理炉，其可有效实现超高真空热处理工艺，自动化程度高，生产效率高，污染防护完善，操作安全性高。

为了实现上述目的，本实用新型采用了以下技术方案：

一种超高真空热处理炉，其特征在于：它包括通过立柱支撑在底座上的真空室，真空室上的输水接管通过输水管道与供水系统连接，真空室上的真空接管通过波纹管与超高真空机组连接，真空室上的电极与加热供电系统连接，真空室、供水系统、超高真空机组、加热供电系统与电控系统连接，其中：

真空室包括双层水冷夹套结构的上炉盖、下炉盖和炉壳体；上炉盖与炉壳体固定连接；下炉盖通过升降装置上升与下降来进行装料、出料作业；当下炉盖上升到位时，下炉盖与上炉盖、炉壳体一起形成密闭腔室；上炉盖顶部安装有热电偶连接盘；上炉盖、下炉盖、炉壳体的内侧面均安装有隔热屏；所有隔热屏形成的空间内安装有鼠笼式金属发热体，鼠笼式金属发热体伸出真空室的金属连接板与电极连接；下炉盖上面通过工件支撑杆安装有料盘，当下炉盖上升到位时，料盘置于鼠笼式金属发热体形成的加热腔内；

超高真空机组包括与波纹管连接的抽真空管道，抽真空管道上连接有干泵、分子泵、钛泵、离子泵。

本实用新型的优点是：

本实用新型采用下装料形式且为一种全无油真空系统，可有效实现超高真空热处理工艺，设备结构紧凑，便于安装与运输，自动化程度高，生产效率高，人工操作简单、便捷，污染防护完善，操作安全性高，适于推广普及。

附图说明

图1是本实用新型超高真空热处理炉的结构示意图。

图2是图1的俯视示意图。

图3是鼠笼式金属发热体的结构示意图。

具体实施方式

如图1至图3所示，本实用新型超高真空热处理炉包括通过立柱21支撑在底座15上的真空室，真空室上的输水接管通过输水管道16与供水系统(公知设备)连接，输水管道16上可安装有若干阀门(如图)，真空室上的真空接管通过波纹管8与超高真空机组连接，真空室上的电极26与加热供电系统24连接，真空室、供水系统、超高真空机组、加热供电系统24与电控系统1(熟知技术)连接，超高真空机组、供水系统也设置在底座15上，设备集成一体，便于安装与运输。

如图，真空室包括双层水冷夹套结构的上炉盖2、下炉盖17和炉壳体23，上炉盖2、下炉盖17和炉壳体23上安装有输水接管，输水接管与上炉盖2、下炉盖17和炉壳体23的夹层水腔相通；上炉盖2与炉壳体23固定连接；下炉盖17通过升降装置22上升与下降来进行装料、出料作业；当下炉盖17上升到位时，下炉盖17与上炉盖2、炉壳体23一起形成密闭腔室；上炉盖2顶部安装有用于测量真空室内温度的热电偶连接盘3，热电偶连接盘3包括热电偶(CF电极形式)，热电偶连接盘3与电控系统1连接；上炉盖2、下炉盖17、炉壳体23的内侧面均安装有隔热屏，即如图1所示，上炉盖2内侧面安装隔热屏4，下炉盖17内侧面安装隔热屏18，炉壳体23内侧面安装隔热屏6，炉壳体23底部将与下炉盖17结合的部分上安装隔热屏7；所有隔热屏形成的空间内安装有鼠笼式金属发热体5，鼠笼式金属发热体5伸出真空室的金属连接板31与电极26连接；下炉盖17上面通过工件支撑杆19安装有料盘20，当下炉盖17上升到位时，料盘20置于鼠笼式金属发热体5形成的加热腔内。

如图，超高真空机组包括与波纹管8连接的抽真空管道11，抽真空管道11上连接有干泵13、分子泵9(如涡轮式分子泵)、钛泵12、离子泵10，干泵13、分子泵9、钛泵12和离子泵10安装在支架14上，支架14置于底座15上。

在实际设计中，上炉盖2与炉壳体23螺栓连接且上炉盖2与炉壳体23两者之间采用金属密封形式密封。当下炉盖17上升到位时，下炉盖17与炉壳体23之间通过胶圈(如氟橡胶圈)实现密封。