[实用新型]一种超高真空热处理炉

权利要求书

1.一种超高真空热处理炉，其特征在于：它包括通过立柱支撑在底座上的真空室，真空室上的输水接管通过输水管道与供水系统连接，真空室上的真空接管通过波纹管与超高真空机组连接，真空室上的电极与加热供电系统连接，真空室、供水系统、超高真空机组、加热供电系统与电控系统连接，其中：

真空室包括双层水冷夹套结构的上炉盖、下炉盖和炉壳体；上炉盖与炉壳体固定连接；下炉盖通过升降装置上升与下降来进行装料、出料作业；当下炉盖上升到位时，下炉盖与上炉盖、炉壳体一起形成密闭腔室；上炉盖顶部安装有热电偶连接盘；上炉盖、下炉盖、炉壳体的内侧面均安装有隔热屏；所有隔热屏形成的空间内安装有鼠笼式金属发热体，鼠笼式金属发热体伸出真空室的金属连接板与电极连接；下炉盖上面通过工件支撑杆安装有料盘，当下炉盖上升到位时，料盘置于鼠笼式金属发热体形成的加热腔内；

超高真空机组包括与波纹管连接的抽真空管道，抽真空管道上连接有干泵、分子泵、钛泵、离子泵。

2.如权利要求1所述的超高真空热处理炉，其特征在于：

所述上炉盖与所述炉壳体螺栓连接且两者之间采用金属密封形式密封；

当所述下炉盖上升到位时，所述下炉盖与所述炉壳体之间通过胶圈密封。

3.如权利要求1所述的超高真空热处理炉，其特征在于：

所述隔热屏由多层金属片层叠构成。

4.如权利要求1所述的超高真空热处理炉，其特征在于：

悬挂安装的所述鼠笼式金属发热体包括上金属环、下金属环，上、下金属环通过鼠笼式金属筒连接，上金属环上连接有若干所述金属连接板，所述金属连接板伸出所述真空室。

5.如权利要求1所述的超高真空热处理炉，其特征在于：

所述升降装置包括丝杠、驱动电机，所述下炉盖与丝杠连接，所述下炉盖在受驱动电机驱动的丝杠带动下进行上下直线运动。

6.如权利要求1所述的超高真空热处理炉，其特征在于：

与所述波纹管连接的所述抽真空管道首端安装有第一插板阀，第一插板阀与所述抽真空管道尾端之间安装有第二插板阀，介于第一插板阀与第二插板阀之间的所述抽真空管道部分与所述干泵、所述分子泵连接，介于第二插板阀与所述抽真空管道尾端之间的所述抽真空管道部分与所述离子泵连接，所述钛泵安装在所述抽真空管道的尾端上。

7.如权利要求1所述的超高真空热处理炉，其特征在于：

所述加热供电系统包括变压器。