[实用新型]卡点、石墨舟片及石墨舟

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域，尤其涉及一种卡点、石墨舟片及石墨舟。

背景技术

在硅基体太阳能电池的制造工艺过程中，通常采用薄膜沉积工艺进行硅片的镀膜，例如，可采用PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition，等离子增强化学气相沉积)的沉积工艺对硅片进行氮化硅的真空镀膜，使硅片表面形成防反射层(钝化层)。

在进行硅片表面镀膜时，将未镀膜的硅片插入PECVD真空镀膜设备的载片器上，通常载片器由石墨舟来实现，即，将未镀膜的硅片插入石墨舟，并通过卡点卡紧硅片，然后将载有硅片的石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备的腔体内，采用PECVD工艺对硅片进行镀膜；镀膜结束后，从真空镀膜设备的腔体中取出石墨舟，将镀膜的硅片从石墨舟上拆卸下来，完成对硅片的镀膜。

现有的用于固定硅片的卡点在硅片镀膜过程中，对硅片的遮盖面积较大，因而导致生产的硅片的质量较差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种卡点、石墨舟片及石墨舟，以解决现有技术中存在的用于固定硅片的卡点在硅片镀膜过程中，对硅片的遮盖面积较大，因而导致生产的硅片的质量较差的技术问题。

本实用新型提供的卡点，包括固定部和卡紧部，所述卡紧部与所述固定部之间形成有卡槽，所述固定部用于与石墨舟片可拆卸式固定连接，所述卡槽用于卡入硅片；所述卡紧部自其外沿向内设有缺口。

进一步的，所述缺口位于所述卡紧部端部靠近中间的位置，且所述卡紧部上缺口的两侧均形成卡紧头。

进一步的，所述缺口为“U”型缺口。

进一步的，所述卡紧部为圆形，所述卡紧部上沿其圆周设有至少一个缺口；所述固定部也为圆形。

进一步的，所述卡紧部为菱形，所述缺口为两个，且分别设于所述卡紧部上呈锐角的两个角上。

进一步的，所述卡紧部包括长方形部和弧形部，所述弧形部为两个，且分别设于所述长方形部的两个短边上，所述缺口为两个，且分别设于所述弧形部上。

进一步的，所述卡紧部为三角形，所述缺口为三个，且分别设于所述卡紧部的三个角上。

进一步的，所述卡紧部为两个，且两个所述卡紧部分别对称设于所述固定部的两侧。

本实用新型的另一个目的在于提供一种石墨舟片，包括舟片本体和上述卡点，所述舟片本体上沿其长度方向设有多个硅片位，所述舟片本体上靠近所述硅片位的位置分散设有多个安装孔，所述安装孔与所述卡点的固定部相匹配，该石墨舟片具有上述卡点的所有技术效果。

本实用新型还提供一种石墨舟，包括上述石墨舟片，所述石墨舟片为多个，且沿其厚度方向依次并列排布，多个所述石墨舟片的两端均设有相对应的连接孔，位于同一侧的多个所述连接孔中穿设有石墨杆。

本实用新型卡点、石墨舟片及石墨舟的有益效果为：

本实用新型提供的卡点、石墨舟片及石墨舟，其中，卡点包括用于与石墨舟片可拆卸式固定连接的固定部和用于卡紧硅片的卡紧部，卡紧部与固定部之间留有间隙形成卡槽，卡槽用于硅片的插入，卡紧部上设有缺口，缺口可以有效减少卡紧部对硅片的遮挡；其中，石墨舟片包括用于承载硅片的舟片本体，舟片本体上设有用于安装硅片的硅片位和用于安装卡点的安装孔，卡点的固定部安装在安装孔内后，卡紧部可以对放置在硅片位上的硅片进行卡紧定位；其中，石墨舟包括多个沿其厚度方向并列排布的石墨舟片，石墨舟片之间通过石墨杆连接在一起。

使用时，将卡点的固定部镶嵌安装于石墨舟片上的安装孔内，卡紧部凸出石墨舟片，且与固定部之间形成卡槽；将将硅片卡入卡槽内并镶嵌于石墨舟片上的硅片位内，卡紧部的端部与硅片抵接，对硅片进行压紧定位；硅片安装完成后，将多个石墨舟片并列排布组合成石墨舟，并通过石墨杆穿过位于同一侧的连接孔，将多个石墨舟片连接在一起，随后把石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备中，对硅片进行镀膜即可。