[实用新型]一种基于斩波反射镜与振镜激光毛化光学系统有效

专利信息
申请号: 201721140587.1 申请日: 2017-09-07
公开(公告)号: CN207139111U 公开(公告)日: 2018-03-27
发明(设计)人: 邵华江;李思佳;李思泉 申请(专利权)人: 上海嘉强自动化技术有限公司
主分类号: B23K26/352 分类号: B23K26/352;B23K26/064
代理公司: 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙)11638 代理人: 刘玉欣
地址: 201615 上海市松*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 反射 激光 光学系统
【权利要求书】:

1.一种基于斩波反射镜与振镜激光毛化光学系统,包括:脉冲光纤激光束(13),其特征在于:还包括消像差准直镜组(1)、斩波反射镜(2)、斩波反射镜转轴(3)、第一反射镜(4)、第二反射镜(5)、第一振镜(6)、第一振镜转轴(7)、第一f-θ镜(8)、第三反射镜(9)、第二振镜(10)、第二振镜转轴(11)和第二f-θ镜(12);

所述脉冲光纤激光束(13)的正下方设有一个消像差准直镜组(1);

所述消像差准直镜组(1)的下方左侧设有一个斩波反射镜(2);

所述消像差准直镜组(1)的下方右侧设有一个第一反射镜(4);

所述斩波反射镜(2)上设有一个斩波反射镜转轴(3);

所述斩波反射镜(2)的下方左侧设有一个第二振镜(10);

所述斩波反射镜(2)的下方右侧设有一个第三反射镜(9);

所述第一反射镜(4)的下方左侧设有一个第二反射镜(5);

所述第一反射镜(4)的下方右侧设有一个第一振镜(6);

所述第一振镜(6)上设有一个第一振镜转轴(7);

所述第三反射镜(9)和第二振镜(10)的下方设有一个第二f-θ镜(12);

所述第二反射镜(5)和第一振镜(6)的下方设有一个第一f-θ镜(8);

所述第二振镜(10)上设有一个第二振镜转轴(11)。

2.根据权利要求1所述的一种基于斩波反射镜与振镜激光毛化光学系统,其特征在于:所述消像差准直镜组(1)可替换为消像差非球面镜。

3.根据权利要求1所述的一种基于斩波反射镜与振镜激光毛化光学系统,其特征在于:所述消像差准直镜组(1)、第一反射镜(4)、第二反射镜(5)、第三反射镜(9)、第一振镜(6)、第二振镜(10)、第一f-θ镜(8)和第二f-θ镜(12)均为圆柱状的熔融石英材料;

所述斩波反射镜(2)为等角多扇形柱状的轻质铝合金材料;

所述斩波反射镜(2)、第一反射镜(4)、第二反射镜(5)、第三反射镜(9)均为45°反射角,反射镜面均为平面;

所述斩波反射镜(2)为1:1占空比的N倍频反射镜,垂直于镜面方向上有多个对称面;

所述第一反射镜(4)、第二反射镜(5)和第三反射镜(9)为相同反射镜;

所述第一振镜(6)和第二振镜(10)为相同振镜,八边形柱状,仅有一个垂直于镜面的对称面,所述第一振镜转轴(7)、第二振镜转轴(11)分别在第一振镜(6)、第二振镜(10)的对称面上,且分别垂直于第一振镜(6)、第二振镜(10)的法线;

所述第一f-θ镜(8)、第二f-θ镜(12)为相同参数f-θ镜;

所述消像差准直镜组(1)中心轴、斩波反射镜(2)的斩波反射镜转轴(3)、第一反射镜(4)法线、第二反射镜(5)法线、第三反射镜(9)法线、第一振镜(6)法线、第二振镜(10)法线、第一f-θ镜(8)中心轴、第二f-θ镜(12)中心轴共面;

所述第一f-θ镜(8)、第二f-θ镜(12)聚焦焦平面共面,毛化部件平动或转动方向与第一f-θ镜(8)、第二f-θ镜(12)聚焦扫描线垂直。

4.根据权利要求1所述的一种基于斩波反射镜与振镜激光毛化光学系统,其特征在于:所述第一振镜(6)、第二振镜(10)同步摆动并同步改变转向;

所述斩波反射镜(2)为间歇性转动,反光区域与漏光区域间歇性交替,在第一振镜(6)、第二振镜(10)单向摆动时,斩波反射镜(2)处于停滞状态,表现为完全反光或完全漏光,只有在第一振镜(6)、第二振镜(10)改变转向的短时间内,斩波反射镜(2)发生反光区域与漏光区域瞬时交替;

所述第一振镜(6)、第二振镜(10)为往返摆动,实现单向扫描毛化。

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