[实用新型]一种基于斩波反射镜与振镜激光毛化光学系统有效
申请号: | 201721140587.1 | 申请日: | 2017-09-07 |
公开(公告)号: | CN207139111U | 公开(公告)日: | 2018-03-27 |
发明(设计)人: | 邵华江;李思佳;李思泉 | 申请(专利权)人: | 上海嘉强自动化技术有限公司 |
主分类号: | B23K26/352 | 分类号: | B23K26/352;B23K26/064 |
代理公司: | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙)11638 | 代理人: | 刘玉欣 |
地址: | 201615 上海市松*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 反射 激光 光学系统 | ||
1.一种基于斩波反射镜与振镜激光毛化光学系统,包括:脉冲光纤激光束(13),其特征在于:还包括消像差准直镜组(1)、斩波反射镜(2)、斩波反射镜转轴(3)、第一反射镜(4)、第二反射镜(5)、第一振镜(6)、第一振镜转轴(7)、第一f-θ镜(8)、第三反射镜(9)、第二振镜(10)、第二振镜转轴(11)和第二f-θ镜(12);
所述脉冲光纤激光束(13)的正下方设有一个消像差准直镜组(1);
所述消像差准直镜组(1)的下方左侧设有一个斩波反射镜(2);
所述消像差准直镜组(1)的下方右侧设有一个第一反射镜(4);
所述斩波反射镜(2)上设有一个斩波反射镜转轴(3);
所述斩波反射镜(2)的下方左侧设有一个第二振镜(10);
所述斩波反射镜(2)的下方右侧设有一个第三反射镜(9);
所述第一反射镜(4)的下方左侧设有一个第二反射镜(5);
所述第一反射镜(4)的下方右侧设有一个第一振镜(6);
所述第一振镜(6)上设有一个第一振镜转轴(7);
所述第三反射镜(9)和第二振镜(10)的下方设有一个第二f-θ镜(12);
所述第二反射镜(5)和第一振镜(6)的下方设有一个第一f-θ镜(8);
所述第二振镜(10)上设有一个第二振镜转轴(11)。
2.根据权利要求1所述的一种基于斩波反射镜与振镜激光毛化光学系统,其特征在于:所述消像差准直镜组(1)可替换为消像差非球面镜。
3.根据权利要求1所述的一种基于斩波反射镜与振镜激光毛化光学系统,其特征在于:所述消像差准直镜组(1)、第一反射镜(4)、第二反射镜(5)、第三反射镜(9)、第一振镜(6)、第二振镜(10)、第一f-θ镜(8)和第二f-θ镜(12)均为圆柱状的熔融石英材料;
所述斩波反射镜(2)为等角多扇形柱状的轻质铝合金材料;
所述斩波反射镜(2)、第一反射镜(4)、第二反射镜(5)、第三反射镜(9)均为45°反射角,反射镜面均为平面;
所述斩波反射镜(2)为1:1占空比的N倍频反射镜,垂直于镜面方向上有多个对称面;
所述第一反射镜(4)、第二反射镜(5)和第三反射镜(9)为相同反射镜;
所述第一振镜(6)和第二振镜(10)为相同振镜,八边形柱状,仅有一个垂直于镜面的对称面,所述第一振镜转轴(7)、第二振镜转轴(11)分别在第一振镜(6)、第二振镜(10)的对称面上,且分别垂直于第一振镜(6)、第二振镜(10)的法线;
所述第一f-θ镜(8)、第二f-θ镜(12)为相同参数f-θ镜;
所述消像差准直镜组(1)中心轴、斩波反射镜(2)的斩波反射镜转轴(3)、第一反射镜(4)法线、第二反射镜(5)法线、第三反射镜(9)法线、第一振镜(6)法线、第二振镜(10)法线、第一f-θ镜(8)中心轴、第二f-θ镜(12)中心轴共面;
所述第一f-θ镜(8)、第二f-θ镜(12)聚焦焦平面共面,毛化部件平动或转动方向与第一f-θ镜(8)、第二f-θ镜(12)聚焦扫描线垂直。
4.根据权利要求1所述的一种基于斩波反射镜与振镜激光毛化光学系统,其特征在于:所述第一振镜(6)、第二振镜(10)同步摆动并同步改变转向;
所述斩波反射镜(2)为间歇性转动,反光区域与漏光区域间歇性交替,在第一振镜(6)、第二振镜(10)单向摆动时,斩波反射镜(2)处于停滞状态,表现为完全反光或完全漏光,只有在第一振镜(6)、第二振镜(10)改变转向的短时间内,斩波反射镜(2)发生反光区域与漏光区域瞬时交替;
所述第一振镜(6)、第二振镜(10)为往返摆动,实现单向扫描毛化。
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