[实用新型]一种大束流注入机电弧室

说明书

技术领域

本实用新型涉及大束流注入机技术领域，具体涉及一种大束流注入机电弧室。

背景技术

大束流注入机是利用高能量粒子轰击杂质原子或分子,使被掺杂的元素原子或分子电离,通过加速后，将离子直接打进半导体内部去，形成PN结。目前，较为常用的NV10-160、NV10-80以及GSD-A80大束流注入机，其电弧室采用多个单头螺丝陶瓷绝缘子和双头螺纹孔陶瓷绝缘子，在高达1200℃的电弧室高温下容易烧结在螺丝上，保养拆卸过程中极易出现碎裂报废，难以重复使用；碎裂的陶瓷附着在反射极螺丝上，造成反射极螺丝的不可重复使用。

实用新型内容

针对现有技术中的问题，本实用新型提供一种大束流注入机的电弧室，解决螺旋孔绝缘子易损坏，难以重复使用的问题，大大提高了拆接方便性，提高了使用寿命，降低了返工率。

为实现以上技术目的，本实用新型的技术方案是：一种大束流注入机电弧室，其特点是：它包括两根反射极螺丝、单头通孔绝缘子A、单头通孔绝缘子B、单头通孔绝缘子C、双头绝缘子螺母、双头通孔绝缘子、灯丝护板、两根灯丝螺丝、反射极石墨、反射极护板、两个端板、后板、前板、灯丝、顶板和底板；所述两个端板、后板和前板合围成矩形框架，所述矩形框架与顶板和底板形成电弧室框架，所述两个端板分为左侧端板和右侧端板，所述左侧端板右侧依次设置有反射极护板和反射极石墨，所述反射极护板两端卡接在后板和前板上，所述两根反射极螺丝均向左依次穿过左侧端板及反射极护板，与反射极石墨固定相接，所述反射极螺丝与左侧端板之间通过对接固定的单头通孔绝缘子A和单头通孔绝缘子B绝缘固定；所述右侧端板左侧设置有灯丝护板，所述灯丝螺丝包括第一灯丝螺丝和第二灯丝螺丝，所述第一灯丝螺丝依次穿过灯丝护板上部和右侧端板上部，所述第一灯丝螺丝位于右侧端板一侧的杆部套接有单头通孔绝缘子C，位于灯丝护板和右侧端板之间的杆部套接有双头绝缘子螺母，所述第二灯丝螺丝依次 穿过灯丝护板上部和右侧端板上部，所述第二灯丝螺丝位于右侧端板一侧的杆部套接有单头通孔绝缘子C，位于灯丝护板和右侧端板之间的杆部套接有双头通孔绝缘子，位于灯丝护板左侧的第一灯丝螺丝端部和第二灯丝螺丝端部之间连接有灯丝。

作为优选，所述反射极螺丝采用双头螺杆，所述双头螺杆的一端拧接在反射极石墨块上。

作为改进，所述双头螺杆中部沿外周面设有台阶，所述反射极护板和反射极石墨分别卡接在台阶的两侧，使得反射极护板与反射极石墨之间具有间隙。

进一步的改进，所述间隙的宽度为13.0-13.2mm。

作为优选，所述双头通孔绝缘子穿出灯丝护板的端部与灯丝护板之间的距离为1.5mm。

作为优选，所述端板与后板和前板之间均采用绝缘螺丝固定。

从以上描述可以看出，本实用新型具备以下优点：

(1)本实用新型采用单头通孔绝缘子、双头通孔绝缘子和双头绝缘子螺母用于反射极螺丝和灯丝螺丝的绝缘保护，起到良好的绝缘保护作用，同时螺纹的去除能够防止其在高温条件下烧结至螺丝上，降低螺丝的使用寿命；拆接方便，能够保证绝缘材料的完整性，保证其重复使用性，增加使用寿命；降低了材料成本，同时也降低了返工率。

(2)本实用新型采用反射极双头螺杆作为反射极螺丝，能够直接将反射极螺丝拧接在反射极石墨上，增加反射极螺丝与反射极石墨的连接稳固性；反射极螺丝上设置台阶，并采用台阶限定反射极石墨与端板之间的距离为13.0-13.2mm，定位更加精准，提高了成品的质量，降低返工率。

(3)本实用新型采用双头通孔陶瓷绝缘子穿过灯丝护板的固定长度来精确保证灯丝螺丝帽与灯丝护板间的间距，减少了安装过程中的繁琐调节，保证了安装的简便性以及低返工率。

附图说明

图1是本实用新型实施例的框架结构示意图；

图2是本实用新型实施例的俯视截面结构示意图；

图3是本实用新型实施例中的双头通孔绝缘子示意图；

图4是本实用新型实施例中的单头通孔绝缘子示意图；

图5是本实用新型实施例中的双头绝缘子螺母示意图；

图6是本实用新型实施例中的反射极螺丝示意图。

附图标记：1、反射极螺丝；1-1、台阶；2、单头通孔绝缘子A；3、单头通孔绝缘子B；4、单头通孔绝缘子C；5、双头绝缘子螺母；6、双头通孔绝缘子；7、灯丝护板；8、灯丝螺丝；8-1、第一灯丝螺丝；8-2、第二灯丝螺丝；9、反射极石墨；10、反射极护板；11、端板；11-1、左侧端板；11-2、右侧端板；12、后板；13、前板；14、灯丝；15、顶板；16、底板。