[实用新型]一种基于半环壳谐振子的微陀螺仪

权利要求书

1.一种基于半环壳谐振子的微陀螺仪，其特征在于：设有底部电极、绝缘层、硅基体、谐振子；硅基体上加工有半环凹模，半环凹模中心为基座，半环凹模的任意一个纵向截面均包含两个向上开口且以基座为中心对称分布的半圆形或半椭圆形；硅基体上表面沿半环凹模周向排布有环形的电极阵列；所述的谐振子的横截面呈与半环凹模相匹配的“ω”形，谐振子置于半环凹模中且其锚端由基座固定支撑，半环凹模的上表面与谐振子的下表面在结构上等间距放置；硅基体背面开设有环形的释放孔阵列，释放孔连通半环凹模和硅基体底面；基座与谐振子的锚端相连，将电信号连到背面的底部电极，作为谐振子的一个电极；硅基体与底部电极之间设置有绝缘层。

2.根据权利要求1所述的基于半环壳谐振子的微陀螺仪，其特征在于：所述的谐振子沉积厚度范围为200nm～20μm，谐振子材料为金刚石薄膜或其它可导电的薄膜。

3.根据权利要求1所述的基于半环壳谐振子的微陀螺仪，其特征在于：所述的底部电极是金电极。

4.根据权利要求1所述的基于半环壳谐振子的微陀螺仪，其特征在于：所述的半环凹模的深度H和半径R比值范围为0.2～1，半径R的大小范围为0.5～2mm。

5.根据权利要求1所述的基于半环壳谐振子的微陀螺仪，其特征在于：半环凹模的上表面与谐振子的下表面的间距为0.5～4μm。

6.根据权利要求1所述的基于半环壳谐振子的微陀螺仪，其特征在于：所述的电极阵列中电极的数量为8、12、16、20。

7.根据权利要求1所述的基于半环壳谐振子的微陀螺仪，其特征在于：所述的释放孔阵列中释放孔的数量为2～20，直径范围为0.5～2mm。

8.根据权利要求1所述的基于半环壳谐振子的微陀螺仪，其特征在于：所述的绝缘层材料为Si₃N₄材料。