[实用新型]一种单晶硅短晶棒加工固定装置

说明书

技术领域

本实用新型属于单晶硅棒切断技术领域，特别涉及一种单晶硅短晶棒加工固定装置。

背景技术

直拉法及悬浮区熔法生产的单晶硅棒，需要经过一系列的机加过程，最终将其加工为硅片，生产的单晶硅棒需要先经过截断加工，将晶棒头部、尾部切割掉，并将晶棒截断为长度不大于300mm的较短晶棒，此过程称为切断，单晶硅带锯床作为切断工序的常规设备，在单晶硅棒切断过程中，单晶硅棒夹装入夹具的最短长度70±5mm，太短则容易产生晶棒斜面超标或者夹具损伤，而夹具和带锯直径的安全极限距离为20mm，这样就使得长度小于90mm的晶棒在夹装方面存在一定的困难，小于90mm的晶棒再次加工取片必须借助外部加装工装或者其他工艺形式解决。

目前，现有技术中解决该问题的方式为：一是设计新的外部加装工装，此种方法可实现短晶棒夹装、调整，但操作繁琐，且调整过程中易出现斜面，制作新夹具使硅加工成本增高；二是使用AB胶在端面粘接两根晶棒，此种方法可延伸晶棒长度，夹装稳定，调整方便，但脱胶困难，时间长，造成单晶硅棒在线周期长，无形中造成时间成本浪费。为了解决单晶硅短晶棒切断技术中存在的问题，本申请人发明设计了一种单晶硅短晶棒加工固定装置，不仅能够解决现有技术中设计新的外部加装工装中操作繁琐，且调整过程中易出现斜面，制作新夹具使硅加工成本增高的问题，还能解决使用AB胶在端面粘接两根晶棒中脱胶困难，时间长，造成单晶硅棒在线周期长，无形中造成时间成本浪费的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中外部加装工装与使用AB胶在端面粘接所存在的但操作繁琐，易出现斜面，制作成本增高，脱胶困难，造成单晶硅棒在线周期长，时间成本浪费等问题，提供一种能够符合单晶硅短晶棒切断要求的固定装置。

为了达到上述目的，本实用新型提供了如下的技术方案：

一种单晶硅短晶棒加工固定装置,包括外环、内环、加强筋、锁扣，所述固定装置为圆环状，且位于圆环上开设有连接口，所述外环由外环a与外环b组成，内环由内环a与内环b 组成，其中：所述内环a与外环a为第一组固定环且两者之间留有空隙，内环b与外环b为第二组固定环且两者之间留有空隙，所述第一组固定环与第二组固定环之间等角度安装有用于连接第一组固定环与第二组固定环的加强筋，且加强筋的两端头分别安装在内环a与外环a、内环b与外环b的空隙处，所述位于连接口端，外环a与外环b上都安装有锁扣装置。

优选的，位于连接口处，外环与内环固定连接形成接触面。

优选的，锁扣装置呈搭扣锁形式安装在外环a与外环b上。

优选的，内环的直径由锁扣锁紧时与晶棒的直径保持一致。

本实用新型的有益效果在于：本实用新型结构简单，便于安装成型，内环与外环的配合可以将长度小于90mm的短晶棒连接起来进行切片，且内环与外环可拆卸与重复使用，不造成浪费，锁扣装置用于将固定装置进行抱紧，可固定晶棒，防止转动，且使用本实用新型的成本较低。

附图说明

图1是本实用新型一种单晶硅短晶棒加工固定装置的结构图；

图2为本实用新型一种单晶硅短晶棒加工固定装置结构图中A处局部放大图；

图3为本实用新型一种单晶硅短晶棒加工固定装置结构图中B处局部放大图；

其中：外环1、内环2、加强筋3、锁扣4、外环a11、外环b12、内环a21、内环b22。

具体实施方式

以下结合附图及实施例对本实用新型进行详细的说明，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所得到的其他实施例，都属于本实用新型所保护的范围。

如附图所示，一种单晶硅短晶棒加工固定装置,包括外环1、内环2、加强筋3、锁扣4，所述固定装置为圆环状，且位于圆环上开设有连接口，所述外环1由外环a11与外环b12组成，内环2由内环a21与内环b22组成，其中：所述内环a21与外环a11为第一组固定环且两者之间留有空隙，内环b12与外环b22为第二组固定环且两者之间留有空隙，所述第一组固定环与第二组固定环之间等角度安装有用于连接第一组固定环与第二组固定环的加强筋3，且加强筋3的两端头分别安装在内环a21与外环a11、内环b22与外环b12的空隙处，所述位于连接口端，外环a11与外环b21上都安装有锁扣装置。

所述位于连接口处，外环1与内环2固定连接形成接触面。

所述锁扣4装置呈搭扣锁形式安装在外环a11与外环b12上。