[实用新型]一种单晶硅短晶棒加工固定装置有效
| 申请号： | 201720969746.2 | 申请日： | 2017-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN207206815U | 公开（公告）日： | 2018-04-10 |
| 发明（设计）人： | 陈志佳 | 申请（专利权）人： | 宁夏中晶半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/04 | 分类号： | B28D7/04 |
| 代理公司： | 银川长征知识产权代理事务所64102 | 代理人： | 马长增,姚源 |
| 地址： | 755100 宁夏回*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 短晶棒 加工 固定 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种单晶硅短晶棒加工固定装置,包括外环、内环、加强筋、锁扣，所述固定装置为圆环状，且位于圆环上开设有连接口，所述外环由外环a与外环b组成，内环由内环a与内环b组成，其特征在于：所述内环a与外环a为第一组固定环且两者之间留有空隙，内环b与外环b为第二组固定环且两者之间留有空隙，所述第一组固定环与第二组固定环之间等角度安装有用于连接第一组固定环与第二组固定环的加强筋，且加强筋的两端头分别安装在内环a与外环a、内环b与外环b的空隙处，所述位于连接口端，外环a与外环b上都安装有锁扣装置。
2.根据权利要求1所述一种单晶硅短晶棒加工固定装置，其特征在于：所述位于连接口处，外环与内环固定连接形成接触面。
3.根据权利要求1所述一种单晶硅短晶棒加工固定装置，其特征在于：所述锁扣装置呈搭扣锁形式安装在外环a与外环b上。
4.根据权利要求1所述一种单晶硅短晶棒加工固定装置，其特征在于：所述内环的直径由锁扣锁紧时与晶棒的直径保持一致。
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