[实用新型]蒸镀用金属掩模

说明书

蒸镀用金属掩模具备包括多个掩模孔的掩模区域，位于掩模区域的中央以外的位置的各掩模孔的连接部具有遍及掩模孔的整周地朝向掩模孔的内侧突出的形状，由作为掩模区域的中央附近的部分的第1部分、和作为掩模区域的端部附近的部分的第2部分构成。第1部分与掩模区域的背面之间的距离是第1台阶高度，端部区域中的第1台阶高度比中央区域中的第1台阶高度小。

技术领域

本方案涉及蒸镀用金属掩模、蒸镀用金属掩模的制造方法及显示装置的制造方法。

背景技术

蒸镀用金属掩模具备表面和背面，背面是与基板等的蒸镀对象接触的面，表面是与背面相反侧的面。从表面贯通到背面的掩模孔具备包括表面上的开口即大开口的大孔、和包括背面上的开口即小开口的小孔。划分掩模孔的内周面在大孔与小孔的连接部处具有向掩模孔的内侧突出的形状。在使用蒸镀用金属掩模的成膜中，蒸镀物质从大开口朝向小开口穿过掩模孔而向蒸镀对象堆积。由此，在蒸镀对象上形成遵循小开口的位置及形状的蒸镀图案(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014－148744号公报

顺便说一下，在蒸镀装置中，对于多个掩模孔使用1个蒸镀源。例如，蒸镀装置具备1个蒸镀源，以多个掩模孔中的位于中央的掩模孔与1个蒸镀源相互对置的方式配置蒸镀用金属掩模。或者，蒸镀装置具备多个蒸镀源，以1个掩模区域中包含的相互不同的掩模孔群中的位于中央的掩模孔与1个蒸镀源相互对置的方式配置蒸镀用金属掩模。或者，蒸镀装置具备多个蒸镀源，以1个掩模区域中包含的多个掩模孔中的位于中央的掩模孔与1个蒸镀源相互对置的方式、并且以另1个掩模区域中包含的多个掩模孔中的位于中央的掩模孔与另1个蒸镀源相互对置的方式配置蒸镀用金属掩模。

在上述结构中，从1个蒸镀源朝向位于中央的掩模孔的方向与从1个蒸镀源朝向其他掩模孔的方向相互不同。并且，从蒸镀源释放的蒸镀物质的量通常在与蒸镀源对置的位置处最大，并且在上述方向的范围内具有偏差。因此，穿过掩模孔的蒸镀物质的量在蒸镀用金属掩模内具有偏差，由此，按照掩模孔形成的蒸镀图案的膜厚在蒸镀用金属掩模内具有偏差。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种能够使按照掩模孔形成的蒸镀图案的膜厚的均匀性在蒸镀用金属掩模内提高的蒸镀用金属掩模。

用来解决上述课题的蒸镀用金属掩模具备包括多个掩模孔的掩模区域。上述掩模区域具备中央区域和端部区域；上述中央区域包括上述掩模区域的中央，并且包括用来与蒸镀源对置的多个上述掩模孔；上述端部区域位于比上述中央区域更靠上述掩模区域的端部侧，并且包括与上述中央区域中包含的上述掩模孔不同的多个上述掩模孔。上述掩模区域具备：表面，包含上述各掩模孔的大开口；以及背面，包含上述各掩模孔的小开口。上述各掩模孔包括：大孔，包含上述大开口，具有朝向上述小开口而前端变细的形状；小孔，包含上述小开口，具有朝向上述大开口而前端变细的形状；以及连接部，将上述大孔与上述小孔连接。位于上述掩模区域的中央以外的位置的上述各连接部由第1部分和第2部分构成，上述第1部分具有遍及上述掩模孔的整周地朝向上述掩模孔的内侧突出的形状，并且上述第1部分是上述掩模区域的中央附近的部分，上述第2部分是上述掩模区域的端部附近的部分。上述第1部分与上述背面之间的距离是第1台阶高度，上述端部区域中的上述第1台阶高度比上述中央区域中的上述第1台阶高度小。

根据上述结构，在蒸镀用金属掩模中，不论是1个掩模区域与1个蒸镀源对置的情况，还是单独的蒸镀源相对于多个掩模区域对置的情况，中央区域中包含的掩模孔的第1部分与端部区域中包含的掩模孔的第1部分相比，都能够抑制蒸镀物质穿过。因此，能够使按照掩模孔形成的蒸镀图案的膜厚的均匀性在蒸镀用金属掩模内提高。