[实用新型]一种真空镀膜机

说明书

本实用新型公开了一种真空镀膜机，包括真空腔体和深冷泵，所述深冷泵包括用于吸附气体和水汽的冷凝盘管，所述冷凝盘管安装在与所述真空腔体通过管道连通的高阀室中。本实用新型在真空镀膜机中增加深冷泵，将深冷泵中的冷凝盘管安装在与真空腔体相连通的高阀中，通过其表面的低温冷凝效应，迅速捕集真空腔体中的残余气体，从而大大缩短抽真空的时间并且能获得洁净的真空环境，提高了真空镀膜机抽气系统的抽气速度及抽气质量。

技术领域

本实用新型涉及机械技术领域，尤其涉及一种真空镀膜机。

背景技术

现有真空镀膜机抽气系统主要由机械泵、罗茨泵、油扩散泵/分子泵组成，实行分级抽真空。

对于使用油扩散泵的镀膜机在高真空环境中都存在着一定的残余气体，其中大部分为水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽，造成其抽除残余气体的能力低，时间长，而且所有残余气体还是工件的污染源，从而使产品的产量和质量受到影响，影响了产品质量和生产效率

因此，上述技术问题需要解决。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型提出一种真空镀膜机，在真空抽气系统中加入深冷泵，提高抽气速度和产品质量。

为了解决上述的技术问题，本实用新型提出的基本技术方案为：

一种真空镀膜机，包括真空腔体和深冷泵，所述深冷泵包括用于吸附气体和水汽的冷凝盘管，所述冷凝盘管安装在与所述真空腔体通过管道连通的高阀腔体中；所述冷凝盘管包括加热除霜装置。

其中，所述冷凝盘管呈层叠线圈结构，所述冷凝盘管的线圈结构不小于三圈。

其中，所述高阀腔体的一端与所述真空腔体通过管道相连，另一端与高阀连接。

所述真空镀膜机还包括油扩散泵，所述高阀腔体与所述油扩散泵通过高阀连接。

其中，所述冷凝盘管安装在所述高阀和所述真空腔体之间。

其中，所述冷凝盘管为铜管。

本实用新型的有益效果是：本实用新型提供一种真空镀膜机，包括真空腔体和深冷泵，所述深冷泵包括用于吸附气体和水汽的冷凝盘管，所述冷凝盘管安装在与所述真空腔体通过管道连通的高阀腔体中。本实用新型在真空镀膜机中增加深冷泵，将深冷泵中的冷凝盘管安装在与真空腔体相连通的高阀腔体中，通过其表面的低温冷凝效应，迅速捕集真空腔体中的残余气体，从而大大缩短抽真空的时间并且能获得洁净的真空环境，提高了真空镀膜机抽气系统的抽气速度及抽气质量。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对本实用新型实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本实用新型实施例的内容和这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型具体实施例提供的一种真空镀膜机的结构示意图。

附图标号说明：