[实用新型]一种真空镀膜机有效
| 申请号： | 201720884099.5 | 申请日： | 2017-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN207498464U | 公开（公告）日： | 2018-06-15 |
| 发明（设计）人： | 王伟;张扬;常杰;林立根 | 申请（专利权）人： | 深圳市一诺真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空镀膜机 真空腔体 深冷 冷凝盘管 本实用新型 抽气 高阀 残余气体 抽气系统 低温冷凝 管道连通 吸附气体 真空环境 水汽 抽真空 捕集 洁净 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空镀膜机，其特征在于，包括真空腔体(1)和深冷泵(2)，所述深冷泵(2)包括用于吸附气体和水汽的冷凝盘管(3)，所述冷凝盘管(3)安装在与所述真空腔体(1)通过管道连通的高阀腔体(4)中；所述冷凝盘管(3)包括加热除霜装置。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于，所述冷凝盘管(3)呈层叠线圈结构，所述冷凝盘管(3)的线圈结构不小于三圈。
3.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于，所述高阀腔体(4)的一端与所述真空腔体(1)通过管道相连，另一端与高阀(6)连接。
4.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于，还包括油扩散泵(5)，所述高阀腔体(4)与所述油扩散泵(5)通过高阀(6)连接。
5.根据权利要求4所述的真空镀膜机，其特征在于，所述冷凝盘管(3)安装在所述高阀(6)和所述真空腔体(1)之间。
6.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于，所述冷凝盘管(3)为铜管。
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