[实用新型]喷嘴自清洁及防护系统有效

专利信息
申请号: 201720883960.6 申请日: 2017-07-20
公开(公告)号: CN207126885U 公开(公告)日: 2018-03-23
发明(设计)人: 吴谦国 申请(专利权)人: 合肥通富微电子有限公司
主分类号: B08B3/02 分类号: B08B3/02;B08B5/02
代理公司: 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙)11435 代理人: 郭栋梁
地址: 230000 安徽省合肥市经*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 喷嘴 清洁 防护 系统
【权利要求书】:

1.一种喷嘴自清洁及防护系统,包括设备显影单元,所述设备显影单元内设有作业腔,所述作业腔旁安装有导轨,所述导轨上安装有机械臂,所述机械臂一端安装有喷嘴,其特征在于,所述喷嘴上安装有防护罩,所述设备显影单元内还设有清洗基座,所述清洗基座上设有多个用于喷出清洗液或者空气的喷头。

2.根据权利要求1所述的喷嘴自清洁及防护系统,其特征在于,所述防护罩设有开口,所述开口内有内腔,所述喷嘴出口具体设置在所述防护罩内腔内,所述防护罩开口方向与所述喷嘴方向一致。

3.根据权利要求1或2所述的喷嘴自清洁及防护系统,其特征在于,所述清洗基座上设有多组喷头,每组喷头包括间隔设置的清洗液喷头和气浴喷头,每组喷头沿所述清洗基座轴线方向排列。

4.根据权利要求3所述的喷嘴自清洁及防护系统,其特征在于,所述每组喷头之间间隔角度相同。

5.根据权利要求3所述的喷嘴自清洁及防护系统,其特征在于,所述清洗基座内设有喷液管路和喷气管路,所述喷液管路与所述清洗液喷头相连通,所述喷气管路与所述气浴喷头相连通。

6.根据权利要求5所述的喷嘴自清洁及防护系统,其特征在于,所述清洗基座下端安装有转轴,所述转轴带动所述清洗基座转动,所述转轴沿轴向设有通孔,所述喷液管路与所述喷气管路穿过所述转轴内通孔分别连接至清洗液喷头和气浴喷头上。

7.根据权利要求4所述的喷嘴自清洁及防护系统,其特征在于,所述气浴喷头喷嘴直径小于带动清洗液喷头直径。

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