[实用新型]一种应用于曝光机的对位平台有效
申请号: | 201720828998.3 | 申请日: | 2017-07-10 |
公开(公告)号: | CN207081946U | 公开(公告)日: | 2018-03-09 |
发明(设计)人: | 曾凡亮;张超 | 申请(专利权)人: | 深圳市君奕豪科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 深圳市深联知识产权代理事务所(普通合伙)44357 | 代理人: | 赵文曲 |
地址: | 518131 广东省深圳市龙华*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 应用于 曝光 对位 平台 | ||
技术领域
本实用新型涉及曝光机对位设备的技术领域,具体涉及一种应用于曝光机的对位平台。
背景技术
随着科技的不断发展,许多大型设备被应用到打印油墨曝光和制造电路板印刷线路曝光的生产中。然而,越来越多的客户对产品精度有更严格的要求,这就要求对位平台的定位需要精准精确,以保证产品的合格。
目前,市面上用于曝光机的对位平台有以下两种:第一种方式,采用双向XY轴对位,并通过内部双弹簧拉伸回位,XY侧边安装微分头用于精确定位,这种对位平台虽然能进行XY方向的精准定位,但无法实现θ轴的旋转功能,这样当产品出现角度上的偏移而无法纠偏;第二种方式,采用旋转机构的对位平台,即利用旋转机构进行角度的纠偏与摆正,但该方式却无法实现平面的位移。因此,以上两种对位平台方式均无法满足高精度的对位生产需求。
实用新型内容
本实用新型为了解决现有技术存在的上述问题,提供了一种应用于曝光机的对位平台,该对位平台能够精准实现XY轴及水平方向的定位,以实现产品的自动化定位,从而提高了曝光机设备的生产质量。
为实现上述目的,本实用新型提供了一种应用于曝光机的对位平台,包括固定平台、三个驱动轴和一个从动轴,所述三个驱动轴和所述从动轴以四边形结构依次设置在固定平台的四个方位上,每个驱动轴均连接有一个电机,所有驱动轴和从动轴上均设有可水平旋转的旋转机构,且各旋转机构可沿驱动轴或从动轴所在方位左右移动,所述旋转机构上设有滑台,以及设置在滑台中用于连接曝光机升降机构的微型导轨,以实现曝光机升降机构在XY方向的定位调整,以及在水平面的角度调整。
作为本实用新型的进一步优选技术方案,所述固定平台的中间为镂空结构,所述三个驱动轴和所述从动轴依次围绕所述镂空结构的边沿设置在固定平台上。
作为本实用新型的进一步优选技术方案,所述电机与所述驱动轴之间采用丝杆传动连接。
作为本实用新型的进一步优选技术方案,所述电机为伺服电机。
本实用新型的应用于曝光机的对位平台可以达到如下有益效果:
本实用新型的应用于曝光机的对位平台,通过包括固定平台、三个驱动轴和一个从动轴,所述三个驱动轴和所述从动轴以四边形结构依次设置在固定平台的四个方位上,每个驱动轴均连接有一个电机,所有驱动轴和从动轴上均设有可水平旋转的旋转机构,且各旋转机构可沿驱动轴或从动轴所在方位左右移动,所述旋转机构上设有滑台,以及设置在滑台中用于连接曝光机升降机构的微型导轨,以实现曝光机升降机构在XY方向的定位调整,以及在水平面的角度调整,使得本实用新型的结构设计合理,空间布局有序,且XYθ方向可同时动作以实现精准定位对位功能,从而提高了曝光机设备的生产质量。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
图1为本实用新型应用于曝光机的对位平台提供的一实例的结构示意图;
图2为本实用新型驱动轴的结构示意图。
图中:1、固定平台,2、驱动轴,3、从动轴,4、电机,5、旋转机构,6、滑台,7、微型导轨。
本实用新型目的实现、功能特点及优点将结合实施例,参照附图做进一步说明。
具体实施方式
下面将结合附图以及具体实施方式,对本实用新型做进一步描述。较佳实施例中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等用语,仅为便于叙述的明了,而非用以限定本实用新型可实施的范围,其相对关系的改变或调整,在无实质变更技术内容下,当亦视为本实用新型可实施的范畴。
图1为本实用新型应用于曝光机的对位平台提供的一实例的结构示意图,图2为本实用新型驱动轴2的结构示意图,如图1和图2所示,应用于曝光机的对位平台包括固定平台1、三个驱动轴2和一个从动轴3,所述三个驱动轴2和所述从动轴3以四边形结构依次设置在固定平台1的四个方位上,每个驱动轴2均连接有一个电机4,所有驱动轴2和从动轴3上均设有可水平旋转的旋转机构5,且各旋转机构5可沿驱动轴2或从动轴3所在方位左右移动,所述旋转机构5上设有滑台6,以及设置在滑台6中用于连接曝光机升降机构的微型导轨7,以实现曝光机升降机构在XY方向的定位调整,以及在水平面的角度调整。
优选地,所述固定平台1的中间为镂空结构,所述三个驱动轴2和所述从动轴3依次围绕所述镂空结构的边沿设置在固定平台1上,采用镂空结构可使空间布局更加合理有序。
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