[实用新型]一种实现微流体驱动搅拌的声表面波集成芯片有效
| 申请号： | 201720827000.8 | 申请日： | 2017-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN207119374U | 公开（公告）日： | 2018-03-20 |
| 发明（设计）人： | 李红浪;卢孜筱;田亚会;柯亚兵;程利娜 | 申请（专利权）人： | 中国科学院声学研究所 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00;B01F13/00 |
| 代理公司： | 北京方安思达知识产权代理有限公司11472 | 代理人： | 陈琳琳,杨青 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 实现 流体 驱动 搅拌 表面波 集成 芯片 | ||
【权利要求书】：
1.一种实现微流体驱动搅拌的声表面波集成芯片，所述声表面波集成芯片包括基底材料(22)和集成叉指换能器组(21)，所述集成叉指换能器组(21)设置在基底材料(22)上，其特征在于，所述集成叉指换能器组(21)包括两组不同工作频率的叉指换能器，一组叉指换能器为瑞丽波换能器，用于微流体的驱动；另一组叉指换能器为表面横波换能器，用于微流体的搅拌。
2.根据权利要求1所述的实现微流体驱动搅拌的声表面波集成芯片，其特征在于，所述基底材料(22)的材料为LiNbO3、LiTaO3或石英。
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