[实用新型]具双处理结构的挥发性有机废气处理系统

说明书

技术领域

本实用新型是有关于一种具双处理结构的挥发性有机废气处理系统，尤指一种能将经过吸脱附结构所处理的浓缩废气再通过该废气输出管路来输送回该废气进气管路内，而适用于半导体产业、光电产业或化工相关产业的厂房的废气处理。

背景技术

随着环保意识抬头，为了降低对空气的污染，政府开始对于烟囱的排放订定较为严格的标准，尤其是对半导体相关产业所产生的挥发性有机废气强制要求其削减率应大于90％、或总排放量小于0.6kg/hr。

而目前业界在处理其挥发性有机废气，大都是以一沸石转轮来进行吸脱附，并将浓缩挥发性有机污染物质再经焚化炉燃烧，之后再将经过燃烧的干净气体排放至大气中。

然目前经过沸石转轮的吸脱附的气体所达到的效果大约是95％-97％之间，因为废气都要经过沸石转轮来进行吸附，所以废气的流量很大容易造成转轮的吸附效果降低，而使经过烟囱所排放的气体的排放标准无法提升。

因此，本创作人有鉴于上述缺点，期能提出一种具有节能减碳的环保效能的具双处理结构的挥发性有机废气处理系统，令用户可轻易操作组装，乃潜心研思、设计组制，以提供使用者便利性，为本创作人所欲研创的创作动机。

实用新型内容

本实用新型的主要目的，在于提供一种具双处理结构的挥发性有机废气处理系统，包括有一废气进气管路、一沸石转轮、一净气排放管路、一冷却气进气管路、一焚化炉、一浓缩废气管路及一烟囱的组合设计，其主要在于该净气排放管路上是组设有一吸脱附结构，而该吸脱附结构是设有一废气输出管路及一热源管路，且该废气输出管路是连接至该废气进气管路，另该热源管路是连接至该焚化炉，由此，让由该净气排放管路所输出的气体能再经过该吸脱附结构来进行浓缩废气的处理，并再将经过吸脱附结构所处理的浓缩废气再通过该废气输出管路来输送回该废气进气管路内，使得废气在经过双重结构处理下，其处理效率能达到97％甚至99％以上，并具有节能减碳的环保效能，进而增加整体的实用性。

本实用新型的另一目的，在于提供一种具双处理结构的挥发性有机废气处理系统，并通过该吸脱附结构内是设有一转轮，该转轮是为转塔式、水平式或筒状式等其中任一种，而该转轮是设有吸附区、冷却区及脱附区，且该净气排放管路是连接至该转轮的吸附区，另该脱附区一端是连接该废气输出管路，而该脱附区另一端是连接该热源管路，使该脱附区能通过该焚化炉的热能来进行脱附，并于该热源管路上是能增设一辅助加热器来具有提升该热源管路内的热风的效能，让处理效率能提高，进而增加整体的使用性。

为达上述目的，本实用新型为一种具双处理结构的挥发性有机废气处理系统，是包括有一废气进气管路、一沸石转轮、一净气排放管路、一冷却气进气管路、一焚化炉、一浓缩废气管路及一烟囱，其中该沸石转轮是设有吸附区、冷却区及脱附区，而该废气进气管路是连接至该沸石转轮的吸附区，且该净气排放管路是设于该沸石转轮的吸附区与该烟囱之间，且该冷却气进气管路是连接该沸石转轮的冷却区，另该浓缩废气管路是设于该沸石转轮的脱附区与该焚化炉之间，其特征在于：该净气排放管路上是组设有一吸脱附结构，而该吸脱附结构是设有一废气输出管路及一热源管路，且该废气输出管路是连接至该废气进气管路，另该热源管路是连接至该焚化炉。

其中该焚化炉进一步为蓄热式焚化炉或是直燃炉的其中任一种，而该热源管路上进一步设有一辅助加热器。

其中该吸脱附结构内进一步设有一转轮，该转轮为转塔式、水平式或筒状式的其中任一种，而该转轮设有吸附区、冷却区及脱附区，且该净气排放管路连接至该转轮的吸附区，另该脱附区一端连接该废气输出管路，而该脱附区另一端连接该热源管路。

其中该转轮内进一步设有吸附材，而该吸附材进一步为活性碳、沸石、硅胶、活性氧化铝、分子筛、氧化锰、氢氧化钙、石墨烯或中空纤维的其中任一种。

其中该吸脱附结构内进一步设有二吸附材桶，而该二吸附材桶分别作为吸附用及脱附用，且当该吸附材桶设为吸附用时设有进气管路、废气出气管路及干净气体管路，另当该吸附材桶设为脱附用时设有进气管路及脱附气体管路。

其中该吸脱附结构的吸附材桶内进一步设有吸附材，而该吸附材进一步为活性碳、沸石、硅胶、活性氧化铝、分子筛、氧化锰、氢氧化钙、石墨烯或中空纤维的其中任一种。