[实用新型]硅片亲水性测试装置及设备

权利要求书

1.一种硅片亲水性测试装置，其特征在于，包括：

定位板，所述定位板上开设有第一通孔；所述定位板的边缘还连接有支撑柱，所述支撑柱与所述定位板可活动地连接，使定位板能够沿所述支撑柱上下移动；

其中，定位板上开设的第一通孔与硅片待检位置相对应。

2.根据权利要求1所述的硅片亲水性测试装置，其特征在于：

所述硅片亲水性测试装置还包括移液器；所述移液器与所述第一通孔相配合。

3.根据权利要求2所述的硅片亲水性测试装置，其特征在于：

所述移液器具备有第一容纳腔以及与所述第一容纳腔连通的吸头；所述第一容纳腔远离所述吸头的一端设置有与所述第一容纳腔的内壁螺纹配合的推杆；所述推杆伸出至所述第一容纳腔外。

4.根据权利要求2所述的硅片亲水性测试装置，其特征在于：

所述第一通孔具备有相连通的第一孔以及第二孔；所述第一孔的直径大于所述第二孔的直径；所述移液器外侧套设有固定壳体；所述固定壳体容纳在第一孔内；所述移液器的吸头容纳在所述第二孔内且伸出至第二孔外。

5.根据权利要求4所述的硅片亲水性测试装置，其特征在于：

所述固定壳体包括第一壳体以及与之相对的第二壳体；所述第一壳体与所述第二壳体可拆卸地连接并形成用于容纳移液器的第二容纳腔。

6.根据权利要求5所述的硅片亲水性测试装置，其特征在于：

所述固定壳体还包括固定柱；所述第一壳体设置有凸块；所述第二壳体设置有与所述凸块相对应的凹槽；所述凸块开设有贯穿凸块的第二通孔；所述第二壳体对应所述凸块的位置开设有与所述第二通孔相对应的第三通孔；所述固定柱贯穿所述第二通孔以及所述第三通孔，使所述第一壳体与所述第二壳体可拆卸地连接。

7.根据权利要求1所述的硅片亲水性测试装置，其特征在于：

所述硅片亲水性测试装置还包括用于承载硅片的承载装置；所述承载装置与所述支撑柱连接；所述承载装置设置在所述定位板的下方。

8.根据权利要求7所述的硅片亲水性测试装置，其特征在于：

所述承载装置的边缘设置有防滑条。

9.根据权利要求7所述的硅片亲水性测试装置，其特征在于：

所述承载装置的承载平面边缘开设有U型口。

10.一种硅片亲水性测试设备，其特征在于：

所述硅片亲水性测试设备包括至少两个权利要求1至9任意一项所述的硅片亲水性测试装置；相邻所述硅片亲水性测试装置之间可拆卸地连接。