[实用新型]回收系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及机械工程领域，尤其涉及一种回收系统。

背景技术

在多晶硅生产的过程中，各种设备会产生各种废气，而这些废气中，包含大量的氯硅烷、氮气、氢气、氯化氢等，在现有技术中，这些废气通常直接进行废气处理后直接进行排放。废气处理主要是对氯硅烷、氯化氢进行水解和碱液中和，防止污染环境。氯硅烷中包括三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅，这些都是生产所需要的原料，这些废气的产量较大，虽然经过废气处理后不会对环境造成影响，但若能将其收集利用，则可以使多晶硅生产企业降低生产成本。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型实施例提供一种回收系统，主要目的是对废气中的氯硅烷进行回收再利用。

为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案：

本实用新型实施例提供了一种回收系统，包括：

罐体，具有相对的第一端和第二端，包括进气口和出气口，所述进气口设置在所述第一端，所述出气口设置在所述第二端；所述进气口用于进入废气；所述罐体内设有喷淋器，所述喷淋器设置在所述第一端和所述第二端之间，并朝向所述第一端；所述第一端设有第一出液口；所述喷淋器喷淋吸收液，吸收液用于吸收废气中的氯硅烷；

冷凝装置，包括冷凝罐和冷凝管道，所述冷凝管道设置在所述冷凝罐中，所述冷凝管道的一端连接于所述出气口，另一端用于排出气体；所述冷凝管道底部设有第二出液口，用于收集氯硅烷液体；所述冷凝罐用于存放冷凝介质。

进一步的，所述冷凝管道在所述冷凝罐中盘旋设置。

进一步的，还包括液位传感器，所述液位传感器为两个，分别设置在所述第一出液口和所述第二出液口，分别设置第一预设值和第二预设值；当所述罐体液面高度低于上述第一预设值时，关闭所述第一出液口；当所述冷凝管道液面高度低于上述第二预设值时，关闭所述第二出液口。

进一步的，吸收液为四氯化硅，所述冷凝介质为乙二醇。

进一步的，所述冷凝罐上设有循环入口和循环出口，均连接于制冷设备。

进一步的，所述第一端设有补充口，用于补充吸收液，保证吸收效果。

进一步的，还包括泵和分流器；所述分流器分为入流口、第一分流口和第二分流口；所述泵的一端连接于所述第一出液口，另一端连接于所述入流口；所述第一分流口连接于所述喷淋器，所述第二分流口连接于回收设备，用于回收吸收液和氯硅烷。

进一步的，所述喷淋器为多个。

本实用新型实施例提出的一种回收系统，包括：罐体和冷凝装置；罐体具有相对的第一端和第二端，包括进气口和出气口，进气口设置在第一端，出气口设置在第二端；进气口用于进入废气；罐体内设有喷淋器，喷淋器设置在第一端和第二端之间，并朝向第一端；第一端设有第一出液口；喷淋器喷淋吸收液，吸收液用于吸收废气中的氯硅烷；冷凝装置包括冷凝罐和冷凝管道，冷凝管道设置在冷凝罐中，冷凝管道的一端连接于出气口，另一端用于排出气体；冷凝管道底部设有第二出液口，用于收集氯硅烷液体；冷凝罐用于存放冷凝介质。在现有技术中，这些废气通常直接进行废气处理后直接进行排放。废气处理主要是对氯硅烷、氯化氢进行水解和碱液中和，防止污染环境。氯硅烷中包括三氯氢硅、二氯二氢硅、四氯化硅，这些都是生产所需要的原料，这些废气的产量较大，虽然经过废气处理后不会对环境造成影响，但无法回收利用又较为可惜。而本实用新型，利用吸收液对废气中的氯硅烷与其他气体分离和废气中各气体的液化温度不同的特点，将氯硅烷从废气中分离，从而达到氯硅烷回收利用的目的。这样使得氯硅烷生产成本降低，还使得废气处理成本降低，同时能够达到清洁生产、减少固体废弃物的排放的目的。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的一种回收系统的结构示意图。

具体实施方式

为更进一步阐述本实用新型为达到预定实用新型目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本实用新型提出的回收系统具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。

如图1所示，一种回收系统，包括：