[实用新型]回收系统

权利要求书

1.一种回收系统，其特征在于，包括：

罐体，具有相对的第一端和第二端，包括进气口和出气口，所述进气口设置在所述第一端，所述出气口设置在所述第二端；所述进气口用于进入废气；所述罐体内设有喷淋器，所述喷淋器设置在所述第一端和所述第二端之间，并朝向所述第一端；所述第一端设有第一出液口；所述喷淋器喷淋吸收液，吸收液用于吸收废气中的氯硅烷；

冷凝装置，包括冷凝罐和冷凝管道，所述冷凝管道设置在所述冷凝罐中，所述冷凝管道的一端连接于所述出气口，另一端用于排出气体；所述冷凝管道底部设有第二出液口，用于收集氯硅烷液体；所述冷凝罐用于存放冷凝介质。

2.根据权利要求1所述的回收系统，其特征在于，所述冷凝管道在所述冷凝罐中盘旋设置。

3.根据权利要求2所述的回收系统，其特征在于，还包括液位传感器，所述液位传感器为两个，分别设置在所述第一出液口和所述第二出液口，分别设置第一预设值和第二预设值；当所述罐体液面高度低于上述第一预设值时，关闭所述第一出液口；当所述冷凝管道液面高度低于上述第二预设值时，关闭所述第二出液口。

4.根据权利要求3所述的回收系统，其特征在于，吸收液为四氯化硅，所述冷凝介质为乙二醇。

5.根据权利要求4所述的回收系统，其特征在于，所述冷凝罐上设有循环入口和循环出口，均连接于制冷设备。

6.根据权利要求5所述的回收系统，其特征在于，所述第一端设有补充口，用于补充吸收液，保证吸收效果。

7.根据权利要求6所述的回收系统，其特征在于，还包括泵和分流器；所述分流器分为入流口、第一分流口和第二分流口；所述泵的一端连接于所述第一出液口，另一端连接于所述入流口；所述第一分流口连接于所述喷淋器，所述第二分流口连接于回收设备，用于回收吸收液和氯硅烷。

8.根据权利要求7所述的回收系统，其特征在于，所述喷淋器为多个。