[实用新型]一种坩埚喷涂设备

说明书

技术领域

本实用新型属于多晶硅技术领域，尤其涉及一种坩埚喷涂设备。

背景技术

坩埚是光伏产业中生产多晶硅锭的必要器件，硅液在坩埚内经高温热处理得到硅锭。目前国内对多晶硅锭坩埚的年需求量为上百万只，随着国内光伏产业急剧发展，该产品市场需求还将逐年提高。其中铸锭工序是将散碎的硅料装入坩埚内熔化再重新结晶，得到优质的硅锭。铸锭工序中需要将硅料全部熔化，熔化的硅料若是直接与坩埚接触会发生反应，出现粘锅现象，严重影响硅锭的质量。为了避免熔化的硅料与坩埚发生反应，需要在坩埚内壁喷涂氮化硅，因为氮化硅属于一种性质稳定的化学物质，既不会和坩埚反应，也不会和液态硅反应，能够在熔化的硅溶液和坩埚之间起到很好的隔离作用。当氮化硅涂层喷涂达到规定要求后，需将喷涂好的坩埚放入烘箱内进行烘烤，然后再冷却，达到涂层要求后，即可以装料使用。

现有的坩埚喷涂工艺是采用用力或叉车将需要喷涂的坩埚安装在喷涂工位上后进行喷涂作业，喷涂完后再通过人力或叉车将坩埚移走，这种方式在移走坩埚到重新安装坩埚这段时间内是无法进行喷涂作业的，喷涂效率很低。

发明内容

为了解决上述的技术问题，本实用新型的目的是提供一种方便固定坩埚且喷涂效率高的坩埚喷涂设备。

为了实现上述的目的，本实用新型采用了以下的技术方案：

一种坩埚喷涂设备，包括旋转工作台以及设置在旋转工作台侧方的喷涂机器人，所述旋转工作台上设置有三个喷涂工位，每个喷涂工位上设置有用于安放坩埚的喷涂箱，所述喷涂箱包括固定外框，固定外框面向外侧一端敞口。通过将在旋转平台上设置三个喷涂工位，并在每个工位上安装喷涂箱，当喷涂箱转至喷涂机器人一侧时，即可进行喷涂作业，喷涂完之后，旋转平台转动，下一个喷涂箱就位后即可对喷涂箱内的坩埚进行喷涂作业，没有进行喷涂作业的喷涂箱可进行安装或取下坩埚的操作，可使得喷涂机器人不间断工作，喷涂效率极高。

作为优选，所述固定外框包括底板、左侧板、右侧板、后侧板和顶板，在固定外框内设置有活动的内底板、内左侧板、内右侧板、内后侧板和内顶板，所述内底板和底板、内左侧板和左侧板、内右侧板和右侧板、内后侧板和后侧板、内顶板和顶板之间均采用弹簧连接。通过内外层设计并在内外层之间设置弹簧使得安装坩埚后，坩埚的侧壁被牢牢固定，防止在转动或喷涂过程中坩埚掉落。

作为优选，所述内底板、内左侧板、内右侧板、内后侧板和内顶板外侧均设置有用于安装弹簧的安装柱，在底板、左侧板、右侧板、后侧板和顶板上开设有用于穿过安装柱的通孔。

作为优选，所述内底板、内左侧板、内右侧板、内后侧板和内顶板外侧均设置有三排安装柱，三排安装柱分别设置在内底板、内左侧板、内右侧板、内后侧板和内顶板外侧面的两侧和中间位置处。

作为优选，所述三个喷涂工位沿圆周方向间隔120°设置。

作为优选，所述的旋转工作台包括圆形台面及设置在圆形台面中心处的转轴，所述的转轴由一步进电机带动旋转。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1.通过将在旋转平台上设置三个喷涂工位，并在每个工位上安装喷涂箱，当喷涂箱转至喷涂机器人一侧时，即可进行喷涂作业，喷涂完之后，旋转平台转动，下一个喷涂箱就位后即可对喷涂箱内的坩埚进行喷涂作业，没有进行喷涂作业的喷涂箱可进行安装或取下坩埚的操作，可使得喷涂机器人不间断工作，喷涂效率极高。

2.通过喷涂箱内外层设计并在内外层之间设置弹簧，使得安装坩埚后，坩埚的侧壁被夹持住，防止在转动或喷涂过程中坩埚掉落；而在喷涂后又可以方便取下。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是喷涂箱的结构图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做一个详细的说明。

如图1～图2所示的一种坩埚喷涂设备，包括旋转工作台1以及设置在旋转工作台1侧方的喷涂机器人2。喷涂机器人2采用北京东方昊为机器人系统有限公司生产的MH280II六轴涂装机器人或是KUKA公司生产的机器人。所述的旋转工作台包括圆形台面及设置在圆形台面中心处的转轴，所述的转轴由一步进电机(未图示)带动旋转。

在旋转工作台1上设置有三个喷涂工位，三个喷涂工位间隔120°设置。每个喷涂工位上设置有用于安放坩埚的喷涂箱3。喷涂箱3分内外两层，其中外层为固定外框31和活动内框32，固定外框31和活动内框32面向外侧一端敞口。