[实用新型]一种坩埚喷涂设备有效
| 申请号： | 201720754611.4 | 申请日： | 2017-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN206853960U | 公开（公告）日： | 2018-01-09 |
| 发明（设计）人： | 黄贤强;沈达军;赵芷绮;张苏州;栗学华;郭见英;何建军 | 申请（专利权）人： | 浙江溢闳光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B05B13/02 | 分类号： | B05B13/02;B05B13/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 314302 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 坩埚 喷涂 设备 | ||
1.一种坩埚喷涂设备，其特征在于：包括旋转工作台(1)以及设置在旋转工作台(1)侧方的喷涂机器人(2)，所述旋转工作台(1)上设置有三个喷涂工位，每个喷涂工位上设置有用于安放坩埚的喷涂箱(3)，所述喷涂箱(3)包括固定外框(31)，固定外框(31)面向外侧一端敞口。
2.根据权利要求1所述的一种坩埚喷涂设备，其特征在于：所述固定外框(31)包括底板(311)、左侧板(312)、右侧板(313)、后侧板(314)和顶板(315)，在固定外框(31)内设置有活动的内底板(321)、内左侧板(322)、内右侧板(323)、内后侧板(324)和内顶板(325)，所述内底板(321)和底板(311)、内左侧板(322)和左侧板(312)、内右侧板(323)和右侧板(313)、内后侧板(324)和后侧板(314)、内顶板(325)和顶板(315)之间均采用弹簧(5)连接。
3.根据权利要求2所述的一种坩埚喷涂设备，其特征在于：所述内底板(321)、内左侧板(322)、内右侧板(323)、内后侧板(324)和内顶板(325)外侧均设置有用于安装弹簧(5)的安装柱(4)，在底板(311)、左侧板(312)、右侧板(313)、后侧板(314)和顶板(315)上开设有用于穿过安装柱(4)的通孔。
4.根据权利要求3所述的一种坩埚喷涂设备，其特征在于：所述内底板(321)、内左侧板(322)、内右侧板(323)、内后侧板(324)和内顶板(325)外侧均设置有三排安装柱(4)，三排安装柱(4)分别设置在内底板(321)、内左侧板(322)、内右侧板(323)、内后侧板(324)和内顶板(325)外侧面的两侧和中间位置处。
5.根据权利要求1所述的一种坩埚喷涂设备，其特征在于：所述三个喷涂工位沿圆周方向间隔120°设置。
6.根据权利要求1所述的一种坩埚喷涂设备，其特征在于：所述的旋转工作台(1)包括圆形台面及设置在圆形台面中心处的转轴，所述的转轴由一步进电机带动旋转。
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