[实用新型]一种单晶硅生长用组合式石英坩埚

权利要求书

1.一种单晶硅生长用组合式石英坩埚，包括开口向上的坩埚外埚体（1）；坩埚外埚体（1）为石英烧结一体件；其特征在于：还包括坩埚内筒体（2）；所述坩埚外埚体（1）包括外筒部（11）和埚底部（12）；所述外筒部（11）的底部与埚底部（12）的顶部相互连接；

所述坩埚内筒体（2）是上下贯通的筒体，由碳纤维烧结筒（21）和围绕碳纤维烧结筒（21）设置的石英烧结材料构成；所述碳纤维烧结筒（21）是由碳纤维编织并烧结而成的上下贯通的筒状烧结物；碳纤维烧结筒（21）的侧壁上设有至少2个液流孔（21-1）和多个呈分散状分布的石英孔（21-2）；所述的石英烧结材料为覆盖在碳纤维烧结筒（21）上的由石英粉经烧结而成的连为一体的石英一体件，该石英一体件不仅覆盖在坩埚内筒体（2）的内外侧和下侧的表面上，还充满于各个石英孔（21-2）中，而且还覆盖在各个液流孔（21-1）的孔壁上；所述的坩埚内筒体（2）的在其碳纤维烧结筒（21）的各个液流孔（21-1）的孔壁上覆盖石英烧结材料的部位，形成了坩埚内筒体（2）的贯穿其侧壁的物料通过孔（26），且所述的物料通过孔（26）数量与液流孔（21-1）的数量相同；

坩埚内筒体（2）的底部是使用时与坩埚外埚体（1）的埚底部（12）的内侧壁相接触的部位，并且坩埚内筒体（2）的外侧壁是使用时与外筒部（11）的内侧壁间隔距离的部位。

2.根据权利要求1所述的单晶硅生长用组合式石英坩埚，其特征在于：所述坩埚内筒体（2）的碳纤维烧结筒（21）为圆筒状烧结物；坩埚内筒体（2）为圆筒体；碳纤维烧结筒（21）的各个液流孔（21-1）的孔径为20至60mm，且位于碳纤维烧结筒（21）底部的15mm至40mm高处；所述物料通过孔（26）与液流孔（21-1）的中心轴线重叠；碳纤维烧结筒（21）的石英孔（21-2）均匀设置，且让开所述液流孔（21-1）。

3.根据权利要求2所述的单晶硅生长用组合式石英坩埚，其特征在于：所述的碳纤维烧结筒（21）的石英孔（21-2）的孔径为20±10mm，且石英孔（21-2）的均匀设置是指石英孔（21-2）按照上下间隔40mm±10mm、以及同一高度上左右间隔40mm±10mm的方式设置。

4.根据权利要求1所述的单晶硅生长用组合式石英坩埚，其特征在于：所述坩埚内筒体（2）的石英一体件按照所处的位置的不同分为石英内层（22）、石英外层（23）、石英底部（24）和孔中石英（25）；所述的孔中石英（25）是指所述的充满于各个石英孔（21-2）中的石英以及覆盖在各个液流孔（21-1）的孔壁上的石英。

5.根据权利要求4所述的单晶硅生长用组合式石英坩埚，其特征在于：所述石英内层（22）的外径即为碳纤维烧结筒（21）的内径，石英内层（22）的内径即为坩埚内筒体（2）的内径；所述石英外层（23）的内径即为碳纤维烧结筒（21）的外径，石英外层（23）的外径即为坩埚内筒体（2）的外径；石英底部（24）的内径即为坩埚内筒体（2）的内径，石英底部（24）的外径即为坩埚内筒体（2）的外径；所述碳纤维烧结筒（21）、石英内层（22）及石英外层（23）三者的厚度相同；所述石英内层（22）的外表面与碳纤维烧结筒（21）的内表面相接；石英外层（23）的内表面与碳纤维烧结筒（21）的外表面相接；石英底部（24）的上表面分别与石英内层（22）的下表面、石英外层（23）的下表面同质相接，且与碳纤维烧结筒（21）的下表面相接。

6.根据权利要求5所述的单晶硅生长用组合式石英坩埚，其特征在于：坩埚外埚体（1）的埚底部（12）还包括设置在内侧壁上的承载部（13），所述承载部（13）位于埚底部（12）的顶部边沿下方的内侧壁上，从而埚底部（12）的内侧壁的位于承载部（13）上方的部分即为埚底部（12）的内侧壁的上部，埚底部（12）的内侧壁的位于承载部（13）下方的部分即为埚底部（12）的内侧壁的下部，也即是，埚底部（12）的内侧壁按照从上至下的次序依次分为内侧壁的上部、承载部和内侧壁的下部；

坩埚内筒体（2）的底部是使用时能够与坩埚外埚体（1）的承载部（13）的环状结合部（13-1）上表面密闭接触的部位。