[实用新型]用于制备熔石英光学元件表面损伤的装置

权利要求书

1.用于制备熔石英光学元件表面损伤的装置，其特征在于，包括光学平台、二维平移台、金刚石压针、配重装置、显微镜及支撑装置；

所述二维平移台置于光学平台上，能够在光学平台的上表面平面方向进行平移，用于放置熔石英光学元件样品；

所述支撑装置包括支撑臂及固定端，所述支撑臂上具有固定孔，支撑臂与固定端滑动连接；所述金刚石压针包括针头及针尾，针头与针尾之间具有一个突出部，所述针头穿过支撑臂上的固定孔后对应于光学平台的上表面，固定孔在水平方向上的投影小于突出部在垂直于金刚石压针的平面上的投影，从而使金刚石压针的针头穿过固定孔后通过突出部放置在支撑臂上，被支撑臂所支撑，所述金刚石压针与配重装置固定连接；

所述显微镜固定在支撑臂上，其镜头对应于光学平台的上表面；

所述支撑臂在固定端上滑动时，能够使置于支撑臂上的针头及显微镜靠近或远离光学平台的上表面。

2.如权利要求1所述的用于制备熔石英光学元件表面损伤的装置，其特征在于，所述配重装置为砝码盘与砝码，所述砝码盘固定在针尾，砝码放置在砝码盘上。

3.如权利要求1所述的用于制备熔石英光学元件表面损伤的装置，其特征在于，所述配重装置为砝码盘与砝码，所述砝码盘固定在针尾与突出部之间，砝码放置在砝码盘上。

4.如权利要求1所述的用于制备熔石英光学元件表面损伤的装置，其特征在于，所述突出部为锥台型，其截面面积较小的一边靠近针头，所述固定孔的形状与突出部相适应。

5.如权利要求1所述的用于制备熔石英光学元件表面损伤的装置，其特征在于，所述固定端固定于光学平台上，支撑臂平行于光学平台上表面，能够在固定端上沿光学平台上表面垂直的方向进行升降滑动。

6.如权利要求1所述的用于制备熔石英光学元件表面损伤的装置，其特征在于，所述显微镜为光学显微镜。