[实用新型]真空炉测温装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种真空炉测温装置，具体是以热电偶为测温元件的真空炉测温装置。

背景技术

热电偶是真空炉主要的测温元件之一，其所测最高温度一般低于1800℃，若真空炉内温度高于这个温度，会使热电偶损坏或者寿命折损。

一般而言，真空炉上会配置多个测点，多个测点的测温元件可以采用相同的测温元件，例如都采用热电偶，也可以采用不同的测温元件，例如某些测点采用热电偶进行测温，某些测点采用红外测温元件。其中红外测温属于非接触式测温元件，从而可以测量更高的温度，但在更高的温度条件下，需要保证低温测温元件不受损伤，因此需要对低温测温元件进行保护。

目前，热电偶在真空炉上主要有两种装配方式，一种是热电偶固定安装在给定的测点，适用于所测最高温度低于热电偶测量范围高限的应用中；另一种则是通过滑动气密封结构将热电偶安装在给定测点，滑动方向为热电偶的轴向，当被测温度高于热电偶测量范围高限时，热电偶退出。但滑动密封不同于静密封，其密封能力有限，尤其是在较高的温度条件下，密封性能较好的动密封结构普遍不能使用，例如橡胶等密封元件，其适用范围一般都低于160℃，即便是高温橡胶密封元件，其最高适用范围也低于380℃。

中国专利文献CN103913248A即公开了一种热电偶的安装方式，其安装方式属于固定安装方式，气密封仅靠一个密封圈进行密封，即便是静密封，也不太容易能够保证密封能力，并且固定设置的热电偶并不能适应多种测温元件条件下的高温区时段对低温测温元件的保护问题。

中国专利文献CN105222914A提出了热电偶频繁拔插所产生的测试工装的密封性变差的问题，也对CN103913248A进行说论述，其改变主要体现在变热电偶与密封结构的配合为热电偶引线与密封固定结构的配合，但这并不能从根本上改变热电偶需要在高温时段退出的问题。

中国专利文献CN203772042U则公开了一种可拔插的测温装置，其将热电偶与气缸整体设计，通过气缸实现热电偶的拔插操作，但热电偶在可动的条件下，该专利文献所提供的密封结构是热电偶通过护套安装在接管内，用以实现动密封的结构是护套与接管的滑动配合，难以保证密封性能。

实用新型内容

有鉴于此，在热电偶可动的条件下，本实用新型变动密封为静密封，从而提供一种密封性能比较好的真空炉测温装置。

依据本实用新型的实施例，提供一种真空炉测温装置，应用于具有真空腔室的真空炉，其中，在真空腔室内设有保温室，并且保温室与真空腔室的内壁面间留有给定距离，在保温室给定的位置开有过孔，真空腔室对位于过孔的壁开有安装孔；所述真空炉测温装置包括：

安装座，固定安装在真空腔室上，并具有与安装孔对位的中心孔；

支架，固定安装在安装座上，并在过孔的轴向远离真空腔室悬伸；

直线驱动机构，安装在支架的悬伸端，且该直线驱动机构的驱动端与过孔相对；

波纹管，该波纹管的一端通过第一静密封结构固定安装在安装座上，另一端通过第二静密封结构固定安装在所述驱动端；以及

热电偶，该热电偶的座端通过所述第二静密封结构装配在所述驱动端，该热电偶的本体则在过孔、安装孔以及中心孔所确定的方向上被直线驱动机构驱动而具有工作行程。

上述真空炉测温装置，可选地，所述过孔位于保温室的侧面。

可选地，所述过孔有一对，并且相应的两过孔在上下方向排列；

相应的两热电偶共用一直线驱动机构。

可选地，所述直线驱动机构包括：

推板，为上下的条板，上端用于与位于上面的热电偶的座端连接，下端用于与位于下面的热电偶的座端连接；

输出构件，安装在推板上下方向的中间；以及

原动部分，用于驱动输出构件作直线运动。

可选地，所述直线驱动机构为配有所述输出构件的气缸，该输出构件为气缸的推杆。

可选地，还包括平行于直线驱动机构驱动方向的导引组件。

可选地，所述支架为龙门架，从而该支架具有：

边框，匹配两安装孔而各设有一个；

楣框，安装在边框悬伸的末端；

相应地，所述导引组件包括：

导套，固定安装在楣框上，导套的轴线平行于过孔轴线；

导杆，导引于所述导套，该导杆则固定安装在推板上。

可选地，一边框背离于另一边框的侧面设有加强板。

可选地，第一静密封结构和第二静密封结构为法兰配合密封件的装配结构。

可选地，第二静密封结构配置为：