[实用新型]真空炉测温装置

权利要求书

1.一种真空炉测温装置，应用于具有真空腔室的真空炉，其中，在真空腔室内设有保温室，并且保温室与真空腔室的内壁面间留有给定距离，在保温室给定的位置开有过孔，真空腔室对位于过孔的壁开有安装孔；其特征在于，所述真空炉测温装置包括：

安装座，固定安装在真空腔室上，并具有与安装孔对位的中心孔；

支架，固定安装在安装座上，并在过孔的轴向远离真空腔室悬伸；

直线驱动机构，安装在支架的悬伸端，且该直线驱动机构的驱动端与过孔相对；

波纹管，该波纹管的一端通过第一静密封结构固定安装在安装座上，另一端通过第二静密封结构固定安装在所述驱动端；以及

热电偶，该热电偶的座端通过所述第二静密封结构装配在所述驱动端，该热电偶的本体则在过孔、安装孔以及中心孔所确定的方向上被直线驱动机构驱动而具有工作行程。

2.根据权利要求1所述的真空炉测温装置，其特征在于，所述过孔位于保温室的侧面。

3.根据权利要求1或2所述的真空炉测温装置，其特征在于，所述过孔有一对，并且相应的两过孔在上下方向排列；

相应的两热电偶共用一直线驱动机构。

4.根据权利要求3所述的真空炉测温装置，其特征在于，所述直线驱动机构包括：

推板，为上下的条板，上端用于与位于上面的热电偶的座端连接，下端用于与位于下面的热电偶的座端连接；

输出构件，安装在推板上下方向的中间；以及

原动部分，用于驱动输出构件作直线运动。

5.根据权利要求4所述的真空炉测温装置，其特征在于，所述直线驱动机构为配有所述输出构件的气缸，该输出构件为气缸的推杆。

6.根据权利要求4所述的真空炉测温装置，其特征在于，还包括平行于直线驱动机构驱动方向的导引组件。

7.根据权利要求6所述的真空炉测温装置，其特征在于，所述支架为龙门架，从而该支架具有：

边框，匹配两安装孔而各设有一个；

楣框，安装在边框悬伸的末端；

相应地，所述导引组件包括：

导套，固定安装在楣框上，导套的轴线平行于过孔轴线；

导杆，导引于所述导套，该导杆则固定安装在推板上。

8.根据权利要求7所述的真空炉测温装置，其特征在于，一边框背离于另一边框的侧面设有加强板。

9.根据权利要求1所述的真空炉测温装置，其特征在于，第一静密封结构和第二静密封结构为法兰配合密封件的装配结构。

10.根据权利要求9所述的真空炉测温装置，其特征在于，第二静密封结构配置为：

在驱动端开有座孔，驱动端在座孔轴向的第一面与波纹管的法兰盘结合密封圈装配，第二面与热电偶的座结合密封圈装配。