[实用新型]一种同轴传输的多离子束加速器装置

权利要求书

1.一种同轴传输的多离子束加速器装置，其特征在于，该装置包括进气系统(1)、离子源(5)、束流传输元件、真空系统和靶(13)；束流传输元件包括束流聚焦元件(8)、束流导向元件(11)和后加速段(12)，真空系统包括真空泵(9)和真空室(10)；进气系统(1)、离子源(5)、束流传输元件和靶(13)分别按离子束(7)传输方向顺序设置，其中，离子源(5)、束流聚焦元件(8)、束流导向元件(11)和靶(13)都在真空室(10)内。

2.根据权利要求1所述的一种同轴传输的多离子束加速器装置，其特征在于，所述进气系统由气瓶(2)、气管(3)和气体质量流量计(4)连接组成。

3.根据权利要求1所述的一种同轴传输的多离子束加速器装置，其特征在于，所述离子源(5)为冷阴极潘宁源。

4.根据权利要求1所述的一种同轴传输的多离子束加速器装置，其特征在于，所述束流聚焦元件(8)为静电聚焦透镜。

5.根据权利要求1所述的一种同轴传输的多离子束加速器装置，其特征在于，所述束流导向元件(11)为静电偏转器。

6.根据权利要求1所述的一种同轴传输的多离子束加速器装置，其特征在于，所述束流传输元件全部为静电元件。

7.根据权利要求4所述的一种同轴传输的多离子束加速器装置，其特征在于，所述静电聚焦透镜为静电薄膜透镜。

8.根据权利要求4所述的一种同轴传输的多离子束加速器装置，其特征在于，所述静电聚焦透镜为静电四极透镜。

9.根据权利要求4所述的一种同轴传输的多离子束加速器装置，其特征在于，所述静电聚焦透镜为三圆筒静电单透镜。