[实用新型]一种蒸镀用掩膜板组件有效
| 申请号: | 201720686923.6 | 申请日: | 2017-06-13 |
| 公开(公告)号: | CN206858643U | 公开(公告)日: | 2018-01-09 |
| 发明(设计)人: | 张峰杰 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司11243 | 代理人: | 许静,刘伟 |
| 地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 蒸镀用掩膜板 组件 | ||
技术领域
本实用新型涉及显示面板制造技术领域,尤其是指一种蒸镀用掩膜板组件。
背景技术
真空蒸镀为显示面板制作过程中的通常工艺,具体地真空蒸镀过程中,需要在高真空环境下对镀膜材料进行加热,使镀膜材料进行蒸发或升华,以在基板上成膜。
通常,真空蒸镀过程中需要使用掩膜板Mask对基板进行掩膜,使蒸镀材料在基板上形成固定图形。随着掩膜板Mask在真空蒸镀过程中使用时间的加长,所蒸镀的镀膜材料会在掩膜板Mask的表面大量累积,需要定期清理,以避免脱落影响蒸镀过程。
目前,真空蒸镀过程普遍应用于有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,OLED)显示器件的金属阴极制备,其中金属材料多为金属Mg、Ag等,而掩膜板Mask通常为因瓦合金Invar材料,当掩膜板Mask表面累积Mg、Ag等金属材料时,一种处理方式为采用手工清理,但该方式会破坏掩膜板Mask的表面,且处理效率较低;另一种处理方式为采用酸处理掩膜板Mask的表面,然而该方式同时也会对掩膜板Mask表面造成磨蚀,从而影响蒸镀工艺。因此,现有技术针对掩膜板Mask表面累积镀膜材料没有更有效的处理方式。
实用新型内容
本实用新型技术方案的目的是提供一种蒸镀用掩膜板组件,能够解决现有技术掩膜板上累积镀膜材料难以清理的问题。
本实用新型具体实施例提供一种蒸镀用掩膜板组件,包括掩膜板本体,所述掩膜板本体上设置有多个蒸镀用开口,其中,所述掩膜板组件还包括遮挡部,所述遮挡部包括与所述掩膜板本体贴附连接的第一状态和与所述掩膜板本体分离的第二状态;其中在所述第一状态下,所述遮挡部能够遮挡住所述掩膜板本体除所述开口之外的其他区域。
优选地,所述的蒸镀用掩膜板组件,其中,所述掩膜板组件还包括:
框体,形成有用于使蒸发材料通过的穿透空间,所述掩膜板本体设置于所述穿透空间中,与所述框体固定连接。
优选地,所述的蒸镀用掩膜板组件,其中,所述遮挡部与所述框体可拆卸连接,所述遮挡部固定于所述框体上时,处于所述第一状态;所述遮挡部从所述框体上拆卸下来时,处于所述第二状态。
优选地,所述的蒸镀用掩膜板组件,其中,所述遮挡部包括多个交叉设置的遮挡条,其中每一所述遮挡条的相对两端分别与所述框体可拆卸连接。
优选地,所述的蒸镀用掩膜板组件,其中,每一所述遮挡条的两端分别设置有卷动结构,部分的所述遮挡条绕设于所述卷动结构上;
通过所述卷动结构与所述框体卡设连接,所述遮挡条与所述框体可拆卸连接。
优选地,所述的蒸镀用掩膜板组件,其中,所述框体上开设有导向空间,所述卷动结构处于与所述框体脱离卡设连接的状态,且设置于所述导向空间中时,能够沿所述导向空间朝卷收所述遮挡条的第一方向转动和朝释放所述遮挡条的第二方向转动;
其中所述导向空间的内部设置有卡设结构,所述卷动结构移动至所述卡设结构的设置位置处时,通过所述卡设结构与所述框体卡设连接。
优选地,所述的蒸镀用掩膜板组件,其中,所述卷动结构的相对两个端面上分别设置有突出的定位轴,所述定位轴在所述卷动结构的内部与弹性支座连接,通过所述弹性支座,所述定位轴的突出长度变化;
所述卡设结构包括开设在所述导向空间的内壁面上的定位孔,其中所述定位轴与所述定位孔对位时,从第一突出长度伸长至第二突出长度,插设进入所述定位孔的内部,所述卷动结构与所述框体卡设连接。
优选地,所述的蒸镀用掩膜板组件,其中,所述卷动结构包括一卷动轴承。
优选地,所述的蒸镀用掩膜板组件,其中,所述掩膜板本体采用因瓦合金材料制成。
优选地,所述的蒸镀用掩膜板组件,其中,所述遮挡部采用金属材料制成,且厚度小于等于0.5毫米。
本实用新型的一个或多个实施例至少具有以下有益效果:
所述蒸镀用掩膜板组件通过设置能够贴附在掩膜板本体、又能够与腌膜板本体分离的遮挡部,使得蒸镀过程中,蒸镀材料中未穿过掩膜板本体上开口的材料能够沉积在遮挡部上,进行清理时,只需要将遮挡部取下即可,方便、省力,从而能够解决现有技术掩膜板本体上沉积蒸镀材料难以清理的问题。
附图说明
图1为本实用新型具体实施例所述蒸镀用掩膜板组件中掩膜板本体的平面结构示意图;
图2为表示本实用新型具体实施例所述蒸镀用掩膜板组件中,掩膜板本体与遮挡部之间连接关系的示意图;
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