[实用新型]挥发性有机废气处理系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种挥发性有机废气处理系统，尤其涉及一种能让废气流量降低，使沸石转轮的吸附效果提高，适用于半导体产业、光电产业或化工相关产业的厂房的废气处理系统。

背景技术

随着环保意识的提高，为了降低对空气的污染，政府开始对烟囱的排放制定较为严格的标准，尤其是对半导体相关产业所产生的挥发性有机废气，强制要求其处理率应大于90％、或总排放量小于0.6kg/hr。

而目前业界在处理挥发性有机废气时，大都是将有机废气先经过废气管路进入沸石转轮中进行吸附，以浓缩挥发性有机污染物质形式再经燃烧炉燃烧，之后再将经过燃烧的干净气体排放至大气中。

然而目前这样的做法，因为废气都要经过转轮来进行吸附，所以废气的流量很大，容易造成转轮的吸附效果降低，而使经过烟囱所排放的气体的排放标准无法提升。

因此，本实用新型有鉴于上述缺陷，希望提出一种具有节能减碳环保效果的挥发性有机废气处理系统，令使用者可轻易操作组装，为使用者提供便利性。

实用新型内容

本实用新型的主要目的，在于提供一种挥发性有机废气处理系统，该系统包括有一废气进气管路、一沸石转轮、一净气排放管路、一新鲜空气进气管路、一燃烧炉、一浓缩废气管路及一烟囱，其中，该废气进气管路与该净气排放管路之间设有一旁通管路，且该旁通管路上设有至少一个吸脱附结构，因此，能让废气流量降低，使沸石转轮的吸附效果提高，以提高处理效率，从而达到节能减碳的环保效果，进而增加整体的实用性。

本实用新型的另一目的，在于提供一种挥发性有机废气处理系统，并通过在吸脱附结构内设置吸附材料，该吸附材料包括活性碳(Active carbon)、沸石、硅胶、氧化铝、氧化锰、氢氧化钙或石墨烯等材料的任一种，以能进行废气吸附及脱附等动作，使经过吸附及脱附后的废气浓度提高及增加，且该旁通管路的吸脱附结构设有一浓缩气体管路，而该浓缩气体管路连接至浓缩废气管路，以将经由该吸附材料所吸附及脱附后的废气能输送至该燃烧炉之前的浓缩废气管路内，让燃烧炉能进行废气的燃烧氧化，使处理效率提高，提高燃烧炉的使用效果，进而增加整体的使用性。

为了达到上述目的，本实用新型提出一种挥发性有机废气处理系统，该废气处理系统系包括一废气进气管路、一沸石转轮、一净气排放管路、一新鲜空气进气管路、一燃烧炉、一浓缩废气管路及一烟囱，其中沸石转轮设有吸附区、冷却区及脱附区，废气进气管路连接至沸石转轮的吸附区，净气排放管路位于沸石转轮的吸附区与烟囱之间，新鲜空气进气管路连接沸石转轮的冷却区，浓缩废气管路位于沸石转轮的脱附区与燃烧炉之间，且废气进气管路与该净气排放管路之间设有一旁通管路，该旁通管路上设有至少一个吸脱附结构。

附图说明

图1是本实用新型的主要系统及第一实施例的结构示意图；

图2是本实用新型的主要系统及第二实施例的结构示意图；

图3是本实用新型的主要系统及第三实施例的结构示意图。

【附图标记说明】

10-废气进气管路；20-沸石转轮；

21-吸附区；22-冷却区；

23-脱附区；30-新鲜空气进气管路；

40-新鲜空气进气管路；50-燃烧炉；

60-浓缩废气管路；70-烟囱：

80-加热器；100-旁通管路；

110-吸脱附结构； 120-吸附材料；

130-浓缩气体管路。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本实用新型作进一步的详细说明。

请参阅图1至图3，是本实用新型一实施例的示意图，而本实用新型的挥发性有机废气处理系统的最佳实施方式是运用于半导体产业、光电产业或化工相关产业的厂房的废气处理，让废气流量降低，使沸石转轮及整体实施例的吸附效果提高，以提升处理效率，从而达到节能减碳的环保效果，使其具有实用性。

而本实用新型的挥发性有机废气处理系统的主要系统包括一废气进气管路10、一沸石转轮20、一净气排放管路30、一新鲜空气进气管路40、一燃烧炉50、一浓缩废气管路60及一烟囱70(如图1、图2及图3所示)，其中该沸石转轮20也可为使用其他吸附材质的浓缩转轮，沸石转轮20设有吸附区21、冷却区22及脱附区23，以能进行废气的吸附及将废气脱附成浓缩废气。