[实用新型]反应腔室

权利要求书

1.一种反应腔室，在其内设置有用于承载晶片的卡盘，其特征在于，所述反应腔室还包括：用于检测所述晶片表面状态的散斑干涉检测装置；

所述散斑干涉检测装置包括光源、光电转换器和处理器；

所述光源输出的光信号分为物光和参考光；

所述物光发射至所述晶片的表面并反射至所述光电转换器，所述参考光直接发射至所述光电转换器；

所述光电转换器，用于将接收到的所述物光和所述参考光的光信号转换为电信号并发送至所述处理器；

所述处理器，用于基于所述电信号获得散斑干涉条纹，以根据所述散斑干涉条纹判断所述晶片的状态。

2.根据权利要求1所述的反应腔室，其特征在于，所述散斑干涉检测装置还包括输入透镜组件和输出透镜组件；

所述输入透镜组件包括第一透镜组件和第二透镜组件；

所述输出透镜组件包括第三透镜组件；

所述第一透镜组件和所述第二透镜组件设置在所述反应腔室的第一侧壁上；

所述第三透镜组件设置在所述反应腔室与所述第一侧壁相对的第二侧壁上；

所述物光经过所述第一透镜组件发射至所述晶片的表面且反射后经过所述第三透镜组件到达所述光电转换器；

所述参考光经过所述第二透镜组件和所述第三透镜组件发射至所述光电转换器。

3.根据权利要求2所述的反应腔室，其特征在于，所述散斑干涉检测装置还包括遮光筒，所述第三透镜组件的出光路径被限制在所述遮光筒内，所述遮光筒固定在所述反应腔室的第二侧壁上，用于使经过所述第三透镜组件的所述物光和所述参考光在所述遮光筒内到达所述光电转换器。

4.根据权利要求1所述的反应腔室，其特征在于，所述散斑干涉检测装置还包括输入透镜；

所述输入透镜设置在所述反应腔室的顶壁上，且正对所述晶片的位置，所述物光经过所述输入透镜发射至所述晶片的表面且反射后再次经过所述输入透镜到达所述光电转换器。

5.根据权利要求4所述的反应腔室，其特征在于，所述散斑干涉检测装置还包括输出透镜和遮光筒，所述输出透镜设置在所述遮光筒内，所述遮光筒独立于所述反应腔室设置，所述物光和所述参考光经过所述输出透镜在所述遮光筒内到达所述光电转换器。

6.根据权利要求5所述的反应腔室，其特征在于，所述散斑干涉检测装置还包括：具有两路单输入单输出通道的辅助光纤耦合器；

所述辅助光纤耦合器，用于将所述物光经过第一路单输入单输出通道到达所述输入透镜；并使自所述输入透镜反射回来的物光经过第二路单输入单输出通道到达所述输出透镜。

7.根据权利要求1所述的反应腔室，其特征在于，所述光源包括单色光源、白色光源或微波光源。

8.根据权利要求1所述的反应腔室，其特征在于，

所述散斑干涉检测装置还包括输入光纤耦合器；

所述光源与所述输入光纤耦合器相连，所述光源输出的光信号经过所述输入光纤耦合器之后分为所述物光和所述参考光。

9.根据权利要求8所述的反应腔室，其特征在于，所述输入光纤耦合器为单输入双输出的光纤耦合器，其输入端与所述光源相连；一个输出端用于输出所述物光，另一个输出端用于输出所述参考光。