[实用新型]一种石英舟

说明书

技术领域

本实用新型涉及硅片载具技术领域，尤其涉及一种石英舟。

背景技术

石英舟是晶硅太阳能电池扩散工序中用于承载硅片的载具，具有耐高温和较好的化学稳定性的特点。太阳能电池需要一个大面积的PN结以实现光能到电能的转换，PN结是P型半导体和N型半导体的交界面，扩散炉即为制造太阳能电池PN结的专用设备，在生产太阳能电池片时，将硅片固定在石英舟内，放入扩散炉内扩散，使硅片的一侧表面覆盖一层PN结。由于现有的石英舟通过上、下两层支撑杆固定硅片，支撑杆上设置有凹槽，硅片将上下边缘卡接在凹槽内，使得扩散后的硅片裸露在外的表面及四个侧壁均覆盖PN结，扩散后还需要对硅片的侧壁以及一侧表面进行刻蚀去PN结，工序较多；若硅片侧壁的PN结刻蚀不干净，还会导致太阳能电池片漏电。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种能够避免硅片的边缘形成PN结的石英舟。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种石英舟，包括：

石英舟本体，所述石英舟本体包括相对设置的两块侧板，两块所述侧板之间设置有底部支撑杆；及

固定边框，所述固定边框与所述底部支撑杆连接，硅片卡入所述固定边框的内部，且所述硅片的侧壁与所述固定边框的内壁抵接，以覆盖所述硅片的侧壁。

其中，所述固定边框包括顶封和底座，所述顶封和所述底座配合并可拆卸连接，所述底部支撑杆位于所述底座的下方并与所述底座固定。

其中，所述底部支撑杆与所述底座中的一个设置有定位凸起、另一个设置有定位槽，所述定位凸起与所述定位槽配合，以实现所述底座与所述底部支撑杆的固定。

其中，所述固定边框与所述底部支撑杆垂直设置，两块所述侧板之间还设置有两个侧部支撑杆，所述固定边框位于两个所述侧部支撑杆之间，所述侧部支撑杆与所述固定边框的侧壁抵接。

其中，所述顶封和所述底座均为U型结构，所述顶封和所述底座插接固定。

其中，所述顶封的侧壁的内表面设置第一U型槽，所述第一U型槽朝向所述底座的端部设置有第一缺口，所述底座的侧壁的内表面设置有第二U型槽，所述第二U型槽朝向所述顶封的端部设置有第二缺口，所述第一缺口和所述第二缺口配合，以实现所述顶封和所述底座插接固定；所述第一U型槽和所述第二U型槽形成限位槽，所述限位槽用于容置所述硅片的边缘。

其中，所述顶封和所述底座中的一个设置有连接部、另一个设置有连接孔，所述连接部伸入所述连接孔内，以实现所述顶封和所述底座的可拆卸连接。

其中，所述固定边框沿内壁环设有限位槽，所述限位槽用于容置所述硅片的边缘。

其中，所述限位槽的宽度为0.4mm-0.6mm。

其中，所述固定边框内设置两片所述硅片，两片所述硅片侧壁与所述固定边框的内壁抵接。

有益效果：本实用新型提供了一种石英舟，通过设置固定边框，固定边框套设于硅片的边缘，可以遮挡硅片的侧壁，防止硅片的侧壁与扩散材料接触，避免硅片的侧壁形成PN结，可以省去刻蚀硅片侧壁的工序，同时也可以避免由于硅片侧壁的PN结刻蚀不干净而引起的电池片漏电的问题。

附图说明

图1是本实用新型提供的石英舟的结构示意图；

图2是本实用新型提供的固定边框的结构示意图；

图3是本实用新型提供的石英舟部分结构的剖视图。

其中：

1、石英舟本体；11、侧板；12、底部支撑杆；13、侧部支撑杆；

2、固定边框；21、顶封；211、第一U型槽；212、第一缺口；22、底座；221、第二U型槽；222、第二缺口；

3、硅片。

具体实施方式

为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

如图1-图3所示，本实用新型提供了一种石英舟，石英舟本体1和固定边框2，石英舟本体1包括相对设置的两块侧板11，两块侧板11之间设置有底部支撑杆12，底部支撑敢用于支撑并固定硅片3；固定边框2与底部支撑杆12连接，固定边框2套设于硅片3的外周，且固定边框2的内壁与硅片3的侧壁抵接，以覆盖硅片3的侧壁。通过设置固定边框2，可以遮挡硅片3的侧壁，防止硅片3的侧壁与扩散材料接触，避免硅片3的侧壁形成PN结，可以省去刻蚀硅片3侧壁的工序，同时也可以避免由于硅片3侧壁的PN结刻蚀不干净而引起的电池片漏电的问题。