[实用新型]一种石英舟

权利要求书

1.一种石英舟，其特征在于，包括：

石英舟本体(1)，所述石英舟本体(1)包括相对设置的两块侧板(11)，两块所述侧板(11)之间设置有底部支撑杆(12)；及

固定边框(2)，所述固定边框(2)与所述底部支撑杆(12)连接，硅片(3)卡入所述固定边框(2)的内部，且所述硅片(3)的侧壁与所述固定边框(2)的内壁抵接，以覆盖所述硅片(3)的侧壁。

2.如权利要求1所述的石英舟，其特征在于，所述固定边框(2)包括顶封(21)和底座(22)，所述顶封(21)和所述底座(22)配合并可拆卸连接，所述底部支撑杆(12)位于所述底座(22)的下方并与所述底座(22)固定。

3.如权利要求2所述的石英舟，其特征在于，所述底部支撑杆(12)与所述底座(22)中的一个设置有定位凸起、另一个设置有定位槽，所述定位凸起与所述定位槽配合，以实现所述底座(22)与所述底部支撑杆(12)的固定。

4.如权利要求2所述的石英舟，其特征在于，所述固定边框(2)与所述底部支撑杆(12)垂直设置，两块所述侧板(11)之间还设置有两个侧部支撑杆(13)，所述固定边框(2)位于两个所述侧部支撑杆(13)之间，所述侧部支撑杆(13)与所述固定边框(2)的侧壁抵接。

5.如权利要求2所述的石英舟，其特征在于，所述顶封(21)和所述底座(22)均为U型结构，所述顶封(21)和所述底座(22)插接固定。

6.如权利要求5所述的石英舟，其特征在于，所述顶封(21)的侧壁的内表面设置第一U型槽(211)，所述第一U型槽(211)朝向所述底座(22)的端部设置有第一缺口(212)，所述底座(22)的侧壁的内表面设置有第二U型槽(221)，所述第二U型槽(221)朝向所述顶封(21)的端部设置有第二缺口(222)，所述第一缺口(212)和所述第二缺口(222)配合，以实现所述顶封(21)和所述底座(22)插接固定；所述第二U型槽(221)和所述第一U型槽(211)形成限位槽，所述限位槽用于容置所述硅片(3)的边缘。

7.如权利要求2所述的石英舟，其特征在于，所述顶封(21)和所述底座(22)中的一个设置有连接部、另一个设置有连接孔，所述连接部伸入所述连接孔内，以实现所述顶封(21)和所述底座(22)的可拆卸连接。

8.如权利要求7所述的石英舟，其特征在于，所述固定边框(2)沿内壁环设有限位槽，所述限位槽用于容置所述硅片(3)的边缘。

9.如权利要求6或8所述的石英舟，其特征在于，所述限位槽的宽度为0.4mm-0.6mm。

10.如权利要求1-8任一项所述的石英舟，其特征在于，所述固定边框(2)内设置两片所述硅片(3)，两片所述硅片(3)侧壁与所述固定边框(2)的内壁抵接。