[实用新型]一种多功能扫描电镜样品台

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种多功能扫描电镜样品台。

背景技术

扫描电子显微镜简称扫描电镜，是一种利用电子束轰击样品，收集样品表面信号从而成像的电子光学仪器。由于其具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像分辨率高、景深大等特点，现已经被广泛地应用于材料、化学、生物、微电子等多领域的研究和工业生产。

样品做扫描电镜时，需要将样品固定在载物台上然后放入样品仓进行观测。但是，现有的载物台多是用于平面观测，载物台为普通圆形平台，此种载物台无法固定住底部不平整的柱状样品。因此当要观察样品截面的时候，平面载物台很难将样品竖直固定，样品晃动会对观察结果造成很大影响。

目前针对这种底面不平整的样品进行扫描电镜和电子背散射试样技术（EBSD）测试时，常采用冷镶嵌和热镶嵌来做平整的底面。冷镶嵌材料一般采用树脂加固化剂，镶嵌后的试样上面包裹一层树脂固化剂，试样镶嵌于固化树脂内，取下后试样外包裹一层固化树脂，固化树脂的导电性很差，因此加固化树脂后的试样导电性很差，但是很多情况下需要试样具有导电性，需要利用导电胶布或镶嵌时添加金属粉末解决试样导电的问题等，但是导电胶布或导电粉末等的导电性往往不如试验本身的导电性好，使镶嵌后的试样达不到需要的良好的导电性，使图像极容易发生漂移，制样成本也随之增加。上述镶嵌技术使试样尺寸增大，但是在高倍做SEM、尤其是EBSD面扫描时需对小尺寸试样（板材、带材、线材等）进行镶嵌试样（热镶嵌或者冷镶嵌），试样过大的话电镜操作时容易碰到EBSD探头或极靴，极具危险性。加树脂固化后的试样比较重（质量大），由于EBSD试样时试样必须倾斜70°，试样在电镜试样室内容易倾斜下滑，使稳定性不高，而且高放大倍数或者长时间扫描时，图像容易发生漂移，造成数据失真。

此外，目前的EBSD样品台一般为圆柱状，每次只能装载一个样品，在有多个样品测试时，要频繁的放真空—装样—抽真空等操作，既费时又费力，给电镜测试带来极大的不便。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的是提供一种结构新颖，使用方便，稳定可靠的多功能扫描电镜样品台。

本实用新型采用以下方案实现：一种多功能扫描电镜样品台，包括底板，底板两侧设置有竖立的固定板，两侧固定板之间设置有转动板，转动板两端铰接于两侧固定板上；所述底板上穿设有可上下移动的伸缩板，伸缩板上端顶着转动板下侧以固定转动板角度。

进一步的，所述转动板为方形的铝合金板；所述伸缩板上开设有多个沿竖向排列的限位槽，所述底板上开设有供伸缩板穿过的通孔；底板前侧面开设有与通孔相同的穿孔，穿孔内穿设有与其滑动配合的限位板，限位板朝内一端与伸缩板上位于通孔内的限位槽卡接配合。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：本实用新型多功能扫描电镜样品台结构新颖，设计合理，使用方便，具有旋转功能，能够测量多角度，适用于底部不平整的样品，满足普通的扫描电镜形貌分析和EBSD表征分析；造价低廉、制作方便、操作简单、适用性广，且易于测量多个样品，从而提高测试效率。

为使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下将通过具体实施例和相关附图，对本实用新型作进一步详细说明。

附图说明

图1是本实用新型实施例转动板处于水平状态示意图；

图2是本实用新型实施例转动板处于倾斜状态示意图；

图3是本实用新型实施例转动板伸缩板抽出状态示意图；

图中标号说明：1-底板、2-固定板、3-转动板、4-伸缩板、5-限位槽、6-限位板。

具体实施方式

如图1~3所示，一种多功能扫描电镜样品台，包括底板1，底板两侧设置有竖立的固定板2，两侧固定板2之间设置有转动板3，转动板3两端铰接于两侧固定板2上；所述底板上穿设有可上下移动的伸缩板4，伸缩板2上端顶着转动板.下侧以固定转动板角度，将样品用导电胶粘连在转动板3上即可测试样品，并且转动板可任意角度的倾转，满足普通的扫描电镜形貌分析和EBSD表征分析；该样品台具有造价低廉、制作方便、操作简单、适用性广且易于测量多个样品并能够改变样品台的角度的优点。

在本实施例中，所述转动板3为方形的铝合金板；极大地减轻了样品台本身的质量，使打磨过程变得更加轻松省力，大大提升了打磨效率；并且在扫描电镜下导电性良好；可以直接使用导电胶使样品和载物台固定能一次装载多个EBSD样品，实现一次多个样品装样同时进行EBSD表征的功能，从而提高测试效率。