[实用新型]晶体波峰测试仪

说明书

技术领域

本实用新型属于晶体测试技术领域，特别涉及晶体波峰测试仪。

背景技术

人工生长出来的单晶硅、蓝宝石等单晶晶体晶棒在加工出各种规格晶片前，先要将晶坨进行定向，找出需要的方向后，利用掏棒机掏出晶棒；然后再经晶体定向后，利用磨削设备将晶棒柱面加工出参考边（A向），并按测定角度值将晶棒粘结在料板上，进行晶体晶棒粘接，晶坨及晶棒定向需要有相配套的可将两次定向采用一套设备晶体波峰测试仪。晶坨及晶棒柱面参考边粘结定向精度的高低，直接影响晶体最后的切片质量好坏。传统的晶坨及晶棒柱面参考边（A向）粘结定向分别采用通用型的二维X射线定向仪，对于定向精度要求严格的产品，不能保证定向精度，其原因在于晶坨及晶棒面的X射线反射能力非常弱，其测角精度只能在±30″－±1′之间，更难以保证晶坨及晶棒柱面的参考边（A向）的粘结，粘结后的精度通常也只能达到±1′左右，严重影响了单晶硅、蓝宝石晶棒的切片精度，导致晶体切片制品的不合格品比例很大，满足不了生产晶体切片制品精度日益提高的需要。

实用新型内容

本实用新型要解决的问题是提供晶坨及晶棒材料的晶体波峰测试仪，应用X射线衍射原理，用于对晶体材料进行波峰测试，特别是涉及半导体级单晶硅、LED生长用蓝宝石等大直径晶体材料晶体定向仪器。具有自动化程度高、操作简便、定向精度高的晶体波峰测试仪。

采用的技术方案是：

晶体波峰测试仪，两根导向柱，光闸、样品台、X射线发生器、闪烁探测器、减速机、钢丝绳和工作台，其特征在于：

工作台水平设置，两根导向柱竖直固定设置在工作台的上端面上，样品台固设在两根导向柱的下端外壁上，在样品台的上端面上固定装设有二维球面夹具体，连接板固定装设在两根导向柱的滑套上，光闸固设在X射线发生器的外壁上且光闸的进光孔和X射线发生器的出光孔连接，X射线发生器的外壁固定装设在连接板的前端面的左侧上，闪烁探测器的外壁固定装设在连接板的前端面的右侧上；在连接板的下端面上，且位于二维球面夹具体的对应位置装设有顶针；在连接板的上端面上装设有动滑轮；两根导向柱的上端装设有横梁，在横梁的下端面上装设有钢丝绳夹，在横梁的上端面的两端分别装设有左支撑轮和右支撑轮；减速机固定装设在工作台的上端面上，在减速机的动力输出轴上装设有卷扬轮，在减速机的动力输入轴上装设有手轮；钢丝绳一端固定在卷扬轮上，依次绕过右支撑轮、左支撑轮和动滑轮，另一端固定在钢丝绳夹上；电器控制箱装设在工作台的上端面上；X射线发生器、闪烁探测器和光闸分别通过导线和电器控制箱连接。

钢丝绳一端固定连接在减速机带动的卷扬轮上，转动减速机手轮，通过卷扬轮、二个支撑轮及卷扬轮带动连接板随二根导向柱上下移动，钢丝绳另一端使用钢丝绳夹固定在横梁上。

管套产生的X射线，经晶坨及晶棒材料反射后的X射线反射光线被闪烁探测器接收，电器控制箱上的微安表确定晶体定向峰值，通过调整二维球面夹具体的角度，并找出晶体定向波峰，并将角度固定的晶坨及晶棒随调整夹具一起运送到磨削或掏棒机进行晶体下一步加工。

本实用新型与现有技术相比具有以下优点：

1、结构简单、使用方便、定向测量精度高等优点，解决了原晶体测试仪测试精度不高的问题。

2、采用小功率管套X射线发生器技术，解决了老式大功率X射线发生器长期存在射线管使用寿命过短的问题。

3、本仪器电气控制装置为设定X光管电流大小，通过微安表确定晶体峰值精度，可据用户的需要即能测试晶坨及晶棒的正晶向，又能测试偏晶向。

4、电器控制部分带有信号放大器，可将闪烁探测器接收的微弱X射线进行信号放大，提高了晶体的测试精度。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

晶体波峰测试仪，两根导向柱3，光闸6、样品台2、X射线发生器5、闪烁探测器15、减速机14、钢丝绳10和工作台1，其特征在于：

工作台1水平设置，两根导向柱3竖直固定设置在工作台1的上端面上，样品台2固设在两根导向柱3的下端外壁上，在样品台2的上端面上固定装设有二维球面夹具体19，连接板7固定装设在两根导向柱3的滑套上，光闸6固设在X射线发生器5的外壁上且光闸6的进光孔和X射线发生器5的出光孔连接，X射线发生器5的外壁固定装设在连接板7的前端面的左侧上，闪烁探测器15的外壁固定装设在连接板7的前端面的右侧上；在连接板7的下端面上，且位于二维球面夹具体19的对应位置装设有顶针4；在连接板7的上端面上装设有动滑轮13；两根导向柱3的上端装设有横梁11，在横梁11的下端面上装设有钢丝绳夹9，在横梁11的上端面的两端分别装设有左支撑轮8和右支撑轮12；减速机14固定装设在工作台1的上端面上，在减速机14的动力输出轴上装设有卷扬轮18，在减速机14的动力输入轴上装设有手轮17；钢丝绳10一端固定在卷扬轮18上，依次绕过右支撑轮12、左支撑轮8和动滑轮13，另一端固定在钢丝绳夹9上；电器控制箱16装设在工作台1的上端面上；X射线发生器5、闪烁探测器15和光闸6分别通过导线和电器控制箱16连接。