[实用新型]单晶硅晶片检测仪

权利要求书

1.单晶硅晶片检测仪，包括发射组件和接收组件，其特征在于:

发射组件，包括工作台(1)、X射线发生器(2)和X射线光闸(3)，工作台(1)水平设置，X射线发生器(2)固定设置在工作台(1)的上端面的左端，X射线光闸(3)固定装设在X射线发生器(2)的右端面上，X射线光闸(3)的进光孔和X射线发生器(2)的出光孔连接;

接收组件，包括测角仪(4)、支板(5)、闪烁探测器(6)、定位轴(8)和连接板(9)，测角仪(4)水平固设在工作台(1)的上端面的右端，连接板(9)设置在测角仪(4)的上端面上，在连接板(9)的左端竖直开设有轴孔(10)，测角仪(4)的主轴(17)穿过连接板(9)上的轴孔(10)，连接板(9)的右端上端面上固定设置有支柱(18)，支柱(18)的上端和支板(5)的一端固定连接，在支板(5)的另一端开设有长条孔(14)；定位轴(8)为阶梯轴，定位轴(8)的上端直径大于下端直径，定位轴(8)的下端外壁上开设有外螺纹(16)，定位轴(8)的下端插入长条孔(14)内，定位轴(8)的凸台下端面和支板(5)的上端面接触；在支板(5)的下端面，定位轴(8)的下端螺纹连接有螺母(15)；在定位轴(8)的上端面上固定连接有闪烁探测器管夹(7)，闪烁探测器(6)设置在闪烁探测器管夹(7)的夹持部分内；在测角仪(4)的上端面上且位于连接板(9)的前端装设有弧形滚道(12)，弧形滚道(12)以测角仪(4)的晶片工作台(13)的中心为圆心，在测角仪(4)的晶片工作台(13)的下端面上且位于弧形滚道(12)的对应位置装设有滚轮(11)；工作台(1)上分别装设有角度显示盘(19)、显示器(20)和控制系统(21)，X射线发生器(2)、X射线光闸(3)和闪烁探测器(6)通过导线与角度显示盘(19)、显示器(20)和控制系统(21)连接。

2.根据权利要求1所述的单晶硅晶片检测仪，其特征在于：上述的X射线发生器(2)中的X射线管为30KV·lmA的铜靶X射线管。