[实用新型]微流量控制装置

权利要求书

1.一种微流量控制装置，其特征在于，包括流体管道、流体驱动机构；

多个流体驱动机构在流体管道内部，且沿流体管道延伸方向依次分布；

所述流体驱动机构包括电导通件、变形件；

所述变形件包括磁致变形部件、电致变形部件以及热致变形部件中的任一种或任多种部件；

所述电导通件包括电磁线圈(3)和/或导线(907)；

磁致变形部件位于电磁线圈(3)形成的磁场中；

磁致变形部件在电磁线圈(3)所形成磁场的影响下发生的形变，能够直接或者间接地驱动流体管道中的流体流动；

电致变形部件在导线(907)所通入电信号的影响下发生的形变，能够直接或者间接地驱动流体管道中的流体流动。

2.根据权利要求1所述的微流量控制装置，其特征在于，所述流体驱动机构还包括：磁偏置结构(1)、敏感部件(4)；

所述磁致变形部件包括导磁结构(2)；

导磁结构(2)位于磁偏置结构(1)的偏置磁场中；

导磁结构(2)具有磁场回路间隙(5)；

电磁线圈(3)缠绕在导磁结构(2)上；

敏感部件(4)安装在导磁结构(2)上；

所述磁场回路间隙(5)与所述流体管道的流体管道壁(6)共同构成流体管道开口。

3.根据权利要求2所述的微流量控制装置，其特征在于，所述敏感部件(4)为悬臂梁结构；或者，所述敏感部件(4)嵌于导磁结构端部。

4.根据权利要求1所述的微流量控制装置，其特征在于，所述流体驱动机构还包括膜片(901)；

所述磁致变形部件包括磁体部(903)；

磁体部(903)设置在膜片(901)内；

两个膜片(901)之间形成储液腔室(904)；

储液腔室(904)通过贯穿磁体部(903)与膜片(901)的通孔(902)连通外部的流体管道内腔；

在电磁线圈(3)所形成磁场的作用下，磁体部(903)带动膜片(901)以内收或者外扩的形式变形，膜片(901)随磁体部(903)以相同形式变形改变储液腔室(904)的体积，以改变流体压力。

5.根据权利要求4所述的微流量控制装置，其特征在于，相邻的所述流体驱动机构之间共用一膜片(901)与一磁体部(903)；或者

相邻的所述流体驱动机构之间存在距离。

6.根据权利要求1所述的微流量控制装置，其特征在于，所述流体驱动机构还包括刚性竖壁(905)；

所述电致变形部件包括双层压电膜(906)；

双层压电膜(906)与刚性竖壁(905)共同界定出储液腔室(904)；

储液腔室(904)通过贯穿刚性竖壁(905)的通孔(902)连通外部的流体管道内腔；

导线(907)电连接双层压电膜(906)；

双层压电膜(906)能以内收或者外扩的形式变形，以改变储液腔室(904)的体积。