[实用新型]低能电子加速器用束流引出窗

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种电子加速器。具体说，是低能量、强电子束电子加速器上使用的束流引出窗。

背景技术

在电子加速器制造和应用领域都知道，随着500KeV以下的低能电子加速器的广泛应用，对束流的强度需求越来越高。目前，低能电子加速器上使用的束流功率只有20~60mA，而根据不同行业的要求，对低能电子加速器上使用的束流功率要求高达60~150mA。要提高束流功率，就需增大束流引出窗的束流分布面积，而增大束流引出窗的束流分布面积，又会降低束流引出窗的抗拉强度。

传统的低能电子加速器使用的束流引出窗含有一个梯形盒状窗体，梯形盒状窗体上端口径小于其下端，其上下端上分别安装有上法兰和下法兰，下法兰下面连有钛窗。由于钛窗直接连接在下法兰的下面，在低能电子加速器运行过程中，与其相连的束流引出窗内腔处于真空状态，使得束流引出窗的钛窗内外压差较大，这样，会对钛窗有一个向内的压力。如果束流功率维持在以往的20~60mA，钛窗宽度低于100mm，在钛窗内外产生的压差尚不会对钛窗造成破坏。但当束流功率增大到60~150mA、钛窗宽度大于100mm时，由于钛窗热负载加大，钛窗内外的压差也会随着增大。这样，钛窗就会破裂。因此，这种束流引出窗的抗拉强度低，钛窗易破损。一旦钛窗破损，电子加速器真空系统及束流系统就会出现较大故障，维修成本较高。

实用新型内容

本实用新型要解决的问题是提供一种低能电子加速器用束流引出窗。这种束流引出窗的钛窗不易破损，维护费用低。

本实用新型要解决的上述问题由以下技术方案实现：

本实用新型的低能电子加速器用束流引出窗包括梯形盒状窗体，梯形盒状窗体上端口径小于其下端，其上下端上分别有上法兰和下法兰，下法兰下面有钛窗，其特点是下法兰与钛窗之间有格栅板。

本实用新型的进一步改进方案是，格栅板的四周有可循环的冷却水道。

本实用新型的更进一步改进方案是，钛窗下面有用于压住钛窗的外法兰。

由上述方案可以看出，由于在下法兰与钛窗之间设置有格栅板，当束流功率增大使钛窗内外的压差也随之增大、对钛窗产生的向内拉力增大时，由于格栅板的支撑作用，钛窗会被挡在格栅板外面，从而大大提高了钛窗的抗拉强度。因此，大大提高了束流引出窗的抗拉强度，使得钛窗不易破损。由于钛窗不易破损，不需频繁更换，从而大大减少了维护费用。

附图说明

图1是本实用新型的低能电子加速器用束流引出窗结构示意图；

图2是图1的A-A剖视示意图（即格栅板的结构示意图）。

具体实施方式

如图1和图2所示，本实用新型的低能电子加速器用束流引出窗含有一个梯形盒管状窗体3，该梯形盒状窗体的横截面为长方形，其上端口径小于其下端，其上、下端上分别安装有上法兰4和下法兰2，下法兰2下面依次设置格栅板1、用作钛窗5的钛箔和用于固定钛窗5的外法兰7。其中，格栅板1的四周借助螺钉6固定在下法兰2上，钛窗5的四周和外法兰7上的四周对应位置上均加工钉孔，所述钛窗5借助外法兰7、所述钉孔和螺钉6呈紧密状固定在格栅板1与外法兰7之间。

为便于对格栅板1进行降温，在格栅板1的四周加工有可循环的冷却水道8。工作时，冷却水道8内充有可循环的冷却水。