[实用新型]一种用于直拉炉的锥形水冷套装置有效

专利信息
申请号: 201720494460.3 申请日: 2017-05-05
公开(公告)号: CN207035852U 公开(公告)日: 2018-02-23
发明(设计)人: 靳立辉;姚长娟;刘旭光 申请(专利权)人: 天津中环半导体股份有限公司
主分类号: F27D9/00 分类号: F27D9/00
代理公司: 天津滨海科纬知识产权代理有限公司12211 代理人: 李纳
地址: 300384 天津市滨海新区高新区*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 直拉炉 锥形 水冷 装置
【说明书】:

技术领域

本实用新型属于直拉炉附属设备技术领域,尤其是涉及一种用于直拉炉的锥形水冷套装置。

背景技术

单晶硅是发展计算机与集成电路的主要功能材料,也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料;直拉炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备,目前多晶硅转化成单晶硅生产过程中所使用的直拉炉配套的水冷却装置一般都是直筒型,由于在高温环境下熔融状态的单晶硅的温度较高,距离液面较近的位置有锥形导流筒的限制,普通直筒型水冷套空间上有局限,不能加快提拉速度,以致影响产品生产效率。

发明内容

有鉴于此,本实用新型旨在提出一种用于直拉炉的锥形水冷套装置,以快速降低熔融状态的单晶硅的温度,加快提拉速度,达到单位时间内提高产量的目的。

为达到上述目的,本实用新型的技术方案是这样实现的:

一种用于直拉炉的锥形水冷套装置,包括管路和锥形水冷套,所述锥形水冷套为内部中空的双层封闭结构,外壁和内壁之间的空腔形成一环形水道,所述锥形水冷套上端设有分别与所述环形水道连通的锥形水冷套进水口和锥形水冷套出水口,所述锥形水冷套进水口和锥形水冷套出水口分别与管路连接。

进一步的,所述管路包括进水管和出水管,所述进水管和出水管对称设置,进水管上端和出水管上端之间的距离大于进水管下端和出水管下端之间的距离。

进一步的,所述进水管和出水管均为一体成型设计,所述进水管和出水管上端和下端竖直设置,上端和下端之间通过水平管路连接,所述进水管和出水管的上端分别通过螺纹与直拉炉炉体固定连接,所述进水管和出水管的下端分别与锥形水冷套进水口和锥形水冷套出水口连接。

进一步的,所述锥形水冷套上端设有上端座,下端设有下端座,所述上端座和下端座均与外壁和内壁焊接,所述锥形水冷套进水口和锥形水冷套出水口设于上端座上;所述炉体上设有与进水管和出水管对应的炉体进水口和炉体出水口。

相对于现有技术,本实用新型所述的一种用于直拉炉的锥形水冷套装置具有以下优势:

本实用新型所述的一种用于直拉炉的锥形水冷套装置,进水管和出水管的上端通过螺纹与直拉炉固定连接,进水管与出水管的下端连接锥形水冷套,同时,进水管和出水管上端之间的距离大于进水管和出水管下端之间的距离,这样设计可以将锥形水冷套深入直拉炉体内部,更加靠近液面,而且拆装方便快捷;

锥形水冷套的外筒和内筒之间设置有环形水道,既不影响水冷套内的水的流动,又避免了内套与外套的热变形问题,同时锥形的外筒和内筒与锥形导流筒的形状匹配,能够深入导流筒内部,更加靠近液面,加快提拉速度,与普通圆柱形水冷套相比锥形水冷套能够增加单位高度内的水流面积,增强冷却效果,加快提拉速度,最终提高产品的生产效率。

附图说明

构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解,本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中:

图1为本实用新型实施例所述的一种用于直拉炉的锥形水冷套装置的主视结构示意图;

图2为本实用新型实施例所述的一种用于直拉炉的锥形水冷套装置的上端座俯视结构示意图。

附图标记说明:

1-进水管;2-出水管;3-锥形水冷套;301-外壁;302-内壁;303-上端座;304-下端座;305-锥形水冷套进水口;306-锥形水冷套出水口;307-环形水道。

具体实施方式

需要说明的是,在不冲突的情况下,本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。

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