[实用新型]一种载台结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及显示器制造技术领域，尤其涉及一种载台结构。

背景技术

液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)是现在非常普遍的显示器。在液晶显示器的生产制造中，通常需要在基板载台上取放基板。传统的基板载台上设置有支撑杆(Lift pin)，通过支撑杆来支撑基板。

为了提高效率，缩短设备动作时间，在现有技术中，将基板载台进行了改进，在玻璃载台上采用玻璃支撑条(Glass Bar)代替传统的支撑杆，其中，在玻璃载台上设置有相隔一定间隙设置的多根玻璃支撑条，能够对应机器人的直接取放，且玻璃支撑条还具备低成本、可透光等优点。

然而，在机器人将基板放置在采用玻璃支撑条的基板载台上之后，需要使用对位夹具(Clamp)对基板进行物理对位，这一过程中，由于基板和玻璃支撑条之间为滑动摩擦，摩擦阻力较大，或是由于基板与玻璃支撑条之间存在静电，使得基板和玻璃支撑条之间有吸附力，影响对位架具在夹紧基板时的对位能力，甚至造成基板破碎。随着基板面积逐步增大，基板与玻璃摩擦条之间的摩擦力增大，且基板厚度越来越薄，基板侧面可承受应力减小，这一问题越来越严重。

现有技术中，为了减少在基板对位时，基板与载台结构之间的滑动摩擦力，在玻璃支撑条上设有吹气孔，通过从玻璃支撑条上吹气孔内向基板上吹气，达到抵消部分基板重力，从而减少滑动摩擦力的效果。但是，这一设计无法有效解决静电吸附力的问题，且如果吹气孔内气流量过大，会将基板吹的飘动，飘动后的基板后在对位夹具进行对位时受力不均，更容易造成基板破碎。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种载台结构，其能够减少待承载物与该载台结构之间的滑动摩擦阻力及减少静电产生，从而减少待承载物损坏。

本实用新型所提供的技术方案如下：

一种载台结构，包括：

用于支撑待承载物的支撑主体，在所述支撑主体内部具有相互独立的多个容置腔，在所述容置腔内容置有滚珠，所述支撑主体的承载面上开设有与所述容置腔相通的开孔，且所述开孔的内径小于所述滚珠的外径；

以及，用于控制所述滚珠在第一状态和第二状态之间切换的控制机构；

其中，在所述第一状态，所述滚珠位于所述开孔处，且所述滚珠的一部分自所述开孔暴露出而突出于所述支撑主体的承载面，以使所述滚珠支撑所述待承载物，所述待承载物与所述支撑主体的承载面之间保持预设间隙；

在所述第二状态，所述滚珠收回至所述容置腔内，以使所述待承载物与所述支撑主体的承载面接触。

进一步的，所述控制机构包括：

与所述容置腔相通的气体通道；

以及，与所述气体通道相连通，用于控制所述气体通道向所述容置腔内吹气或从所述容置腔内抽气的气泵；

其中，在所述第一状态，所述气体通道向所述容置腔内朝所述开孔方向吹气，以使所述容置腔内的滚珠被吹送至所述开孔处；在所述第二状态，所述气体通道从所述容置腔内抽气，以使所述滚珠完全回落至所述容置腔内。

进一步的，所述气体通道包括设置在所述支撑主体内部的第一气体通道和第二气体通道；其中每一所述容置腔连接一个所述第二气体通道，且同一所述第一气体通道上连通有多个所述第二气体通道，所述第一气体通道与所述气泵相连通。

进一步的，所述气体通道与所述容置腔连接的气体进出口和所述开孔的位置正对。

进一步的，所述容置腔的内侧壁在靠近所述开孔的一端具有用于引导所述滚珠向所述开孔处运动的第一内侧壁部分，所述第一内侧壁部分的内径自远离所述开孔的一侧向靠近所述开孔的一侧逐渐收敛。

进一步的，所述第一内侧壁部分为第一弧形曲面结构，且所述第一弧形曲面结构与所述滚珠的外周面相匹配。

进一步的，所述容置腔的内侧壁在靠近所述气体进出口的一端具有用于引导所述滚珠向所述气体进出口处运动的第二内侧壁部分，所述第二内侧壁部分的内径自远离所述气体进出口的一侧向靠近所述气体进出口的一侧逐渐收敛。

进一步的，所述第二内侧壁部分为第二弧形曲面结构，且所述第二弧形曲面结构与所述滚珠的外周面相匹配。

进一步的，所述载台结构还包括用于对位所述待承载物的对位机构，所述对位机构包括用于分别夹持所述待承载物的四角的多个夹具。

本实用新型所带来的有益效果如下：