[实用新型]检查夹具及具备该检查夹具的检查装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及检查夹具及具备该检查夹具的检查装置，具体而言，本实用新型涉及电气检查诸如印刷线路板、集成板、电子元件或类似构件的基板的检查夹具的结构。

背景技术

在诸如印刷线路板、集成板、电子元件或类似构件的基板中，会出现短路或线路未连接的不希望有的缺陷。为此，通过电气检查来检查出这些缺陷。现有技术中，采用检查设备来检查这些基板，检查设备中的多个探针通过弹性变形压抵于要检查的基板，使得所有探针的同时电连接于基板，从而检查出短路或未导电连接等瑕疵。

在基板检查装置中，将要检查的基板设置在输送台上，并且将输送台移动到检查夹具的正下方或刚好的位置。此后，通过将检查夹具向下(基板在下方)或向上(基板在上方)移动到输送台侧，将安装在夹具上的检针销或探针的接触头与形成在基板上的电路图案接触，检查电路图案。

在JP2005-338065A中，如图1所示，安装有检查夹具10的检查设备100包括：

控制单元110，包括用于实现电气判断的检查线路；

驱动单元120，其连接于控制单元110；以及

由驱动单元120驱动的检查机构130。

检查机构130设置有第一支承板131、第二支承板132和移动机构133。检查夹具10附连于第一支承板131，第二支承板132设置成面对第一支承板131以安装和保持要进行检查的基板W。移动机构133用于有控制地单独地使第一支承板131相对第二支承板132移动。移动机构133包括滚珠机构、液压机构或类似机构构成，由驱动单元120驱动。随着第一支承板131朝向基板W的移动，固定在第一支承板131上的检查夹具10抵靠余基板W，从而对基板W进行电气检查。

如图2所示，检查夹具10包括前侧支承体11、与前侧支承体11相对并间隔一空间的后侧支承体12和连接和固定前侧支承体11和后侧支承体13的多个支承柱13。前侧支承体11和后侧支承体12各呈板的形状，并设置成其表面彼此平行。多个探针14穿过前侧支承体11和后侧支承体12，探针14的前端略微伸出前侧支承体11的表面。

电极支承件15附连于后侧支承体12的后侧表面，如图3所示。电极支承件15支承和固定多个电极16，每一电极16与相应的探针14导电接触。在图3中，仅仅示出一个探针14和一个电极16。但是，实际上，沿平面方向(即，前侧支承体11的表面和后侧支承体12的表面，如图3所示)设置多个探针14和多个电极16。图3未示出插入探针14的前侧支承体11的插孔和后侧支承体12的插孔的具体结构。

如图3所示，前侧支承体11构造成由多个支承板111、112、113从前侧(安装测试物体的一侧)顺序叠置而成。

多个探针14穿过多个支承板111、112、113中的插孔使探针的前端略微伸出前侧支承体11的表面，如图3示意性的示出，使这些探针的前端能够与被检查基板W导电接触。

如图4所示，前侧支承体11包括第一板111、第二板112和第三板113。第一板111为与被检查基板W接触的面板，第二板112和第三板113通过多个支承柱13叠置在一起，而第一板111搁置在第二板112的表面上。图4中仅仅示出多个支承柱13中的一个。支承柱13两端134的直径小于中间部135的直径，将支承柱13的前端134插入第二板112和第三板113的第二孔中，然后第一板111搁置在第二板112上，由此形成前侧支承体11。

这里，三个支承板111，112和113具有不同的功能，并且顺序确定。然而，即使在JP-A 2005-338065中从顶部进行第二和第三板的更换和组装的情况下，也可以进行将支承柱13的前端134插入前侧支承体11的第二孔的工艺，而没有问题。换句话说，生产将继续进行，而实质上前侧支承体11的第二板112和第三板113的安装顺序已经被改变。此时，作为夹具，前侧支承体11不能显示和完成原来的功能，导致夹具有缺陷。

实用新型内容

为了克服检查夹具中形成支承体的各层叠板容易错误组装的缺陷，本实用新型提供一种检查夹具，其安装在用于对检查对象进行检查的检查装置中，包括：

夹具头部；以及

以能装卸的方式与所述夹具头部连接，并设置在所述夹具头部的同所述检查对象相反的一侧，且安装有电极的电极安装部，

其中，所述夹具头部包括：

具有检查侧贯通孔的检查侧支承体；

与所述检查侧支承体隔开间隔配置，且具有电极侧贯通孔的电极侧支承体；

将所述检查侧支承体与所述电极侧支承体连接在一起的连接构件；以及