[实用新型]用于太阳能电池制造中的设备、和用于将材料沉积于用于太阳能电池制造中的基板上的系统有效

专利信息
申请号: 201720463781.7 申请日: 2017-04-28
公开(公告)号: CN206849850U 公开(公告)日: 2018-01-05
发明(设计)人: 安德列·巴斯尼;达维德·科莱;马可·加利亚佐;路易吉·德·桑蒂 申请(专利权)人: 应用材料意大利有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 代理人: 徐金国,赵静
地址: 意大利圣比亚*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 用于 太阳能电池 制造 中的 设备 材料 沉积 基板上 系统
【说明书】:

技术领域

实用新型的实施方式涉及用于太阳能电池制造中的设备、以及用于将材料沉积于用于太阳能电池制造中的基板上的系统。本实用新型的实施方式具体涉及用于将材料丝网印刷于基板上的设备和系统。

背景技术

太阳能电池是将阳光直接转换成电力的光伏器件。在这个领域内,已知通过沉积技术,具体地是印刷技术在晶体硅基底上生产太阳能电池,从而在太阳能电池的前表面上实现选择性发射器结构。处理周期可包括至少一个印刷操作和任选的另一材料处理操作,在至少一个印刷操作过程中,使用印刷装置将材料沉积在基板上。设备的生产率和/或生产量可以受处理周期的周期时间的限制。

鉴于以上内容,克服了本领域中的至少一些问题的用于太阳能电池制造中的新设备、以及用于将材料沉积于用于太阳能电池制造中的基板上的系统是有益的。本实用新型的目标尤其在于提供能够减少处理周期的周期时间以增加生产率和生产量中的至少一个的设备。

实用新型内容

鉴于以上内容,提供用于太阳能电池制造中的设备、以及用于将材料沉积于用于太阳能电池制造中的基板上的系统。本实用新型的其他方面、益处以及特征从权利要求书、说明书以及附图中显而易见。

根据本实用新型的一个方面,提供用于太阳能电池制造中的设备。所述设备包括:第一致动器,其中第一材料处理装置可连接到所述第一致动器;和第二致动器,其中第二材料处理装置可连接到所述第二致动器,其中所述第二致动器连接到所述第一致动器,并且其中所述第一致动器被配置为移动所述第二致动器。

在一些实施方式中,所述第一致动器被配置为使得所述第二致动器连同所述第一材料处理装置一起移动。

在一些实施方式中,所述第一致动器被配置为用于进行以下至少一者:线性移动所述第一材料处理装置和改变所述第一材料处理装置的角取向。

在一些实施方式中,所述第二致动器被配置为用于进行以下至少一者:线性移动所述第二材料处理装置和改变所述第二材料处理装置的角取向。

在一些实施方式中,所述第一致动器被配置为用于进行以下至少一者:线性移动所述第二致动器和改变所述第二致动器的角取向。

在一些实施方式中,所述第一致动器和所述第二致动器中的至少一个选自由以下项组成的组:线性电机、步进电机、气动致动器、电动机以及它们的任何组合。

在一些实施方式中,所述设备被配置为:操作所述第一致动器以使连接到所述第一致动器的所述第一材料处理装置和所述第二致动器移动,其中当所述第一致动器移动所述第二致动器时,连接到所述第二致动器的所述第二材料处理装置连同所述第二致动器一起移动;和使用所述第一材料处理装置和所述第二材料处理装置中的至少一个执行材料处理。

在一些实施方式中,所述第一材料处理装置是印刷装置,并且所述第二材料处理装置是用于在丝网上提供均匀的材料膜的材料分配装置,反之亦然,其中所述设备被配置为:沿着基板支撑件移动所述第一材料处理装置和所述第二材料处理装置,以便使用所述第一材料处理装置将所述材料从所述丝网传送到所述基板,并且使用所述第二材料处理装置执行对所述丝网上的所述材料的处理。

根据本实用新型的另一方面,提供用于将材料沉积于用于太阳能电池制造中的基板上的系统。所述系统包括工艺头部,所述工艺头部能够至少沿着基板支撑件在第一工艺方向上移动。所述工艺头部包括:根据本实用新型的用于太阳能电池制造中的设备;所述第一材料处理装置;和所述第二材料处理装置。

在一些实施方式中,所述第一致动器被配置为用于改变以下至少一者:所述第一材料处理装置相对于所述基板支撑件的距离和角取向。

在一些实施方式中,所述第二致动器被配置为用于改变以下至少一者:所述第二材料处理装置相对于所述基板支撑件的距离和角取向。

在一些实施方式中,所述第一材料处理装置和所述第二材料处理装置中的至少一个选自由以下项组成的组:印刷装置和用于在丝网上提供基本上均匀的材料膜的材料分配装置。

在一些实施方式中,所述第一材料处理装置是印刷装置,并且所述第二材料处理装置是用于在丝网上提供均匀的材料膜的材料分配装置。

在一些实施方式中,所述系统进一步包括驱动装置,所述驱动装置被配置为用于沿着所述基板支撑件在所述第一工艺方向上移动所述工艺头部,以便进行印刷和材料分配中的至少一个。

在一些实施方式中,所述系统进一步被配置为调整所述工艺头部相对于所述基板支撑件的距离和角取向中的至少一个。

附图说明

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