[实用新型]一种用于制作探针的压电陶瓷举升液膜机构

说明书

技术领域

本实用新型属于制作扫描隧道显微镜探针的设备，具体涉及一种用于制作探针的压电陶瓷举升液膜机构。

背景技术

在制作扫描隧道显微镜的探针中，下端探针与探针分离后，如果钨丝的探针的针尖未能及时离开NaOH水溶液的液膜，探针的针尖仍在NaOH水溶液的液膜中，无论是否断电，液膜中的电子和氢氧根离子都会使探针的针尖变钝，影响探针的针尖制作质量。

实用新型内容：

本实用新型要解决的技术问题：提供一种用于制作探针的压电陶瓷举升液膜机构，用于制作扫描隧道显微镜探针的装置上，举起液膜，使探针的针尖及时离开液膜，防止探针的针尖变钝，提高探针的针尖制作质量。

本实用新型技术方案：

一种用于制作探针的压电陶瓷举升液膜机构，它包括下调节托盘，中心有孔的导电环固定在液盘的导电环槽中，液盘与下调节托盘连接并可相对下调节托盘移动，滑块和压电陶瓷安装下调节托盘的孔中，滑块在压电陶瓷的上方，滑块紧靠在液盘的底面，滑块可相对下调节托盘移动。

它还包括控制器，控制器与压电陶瓷、导电环及电池连接，控制器主要由开关电路和继电器组成，下端探针与探针分离时，流过导电环和电流发生变化，控制器中的开关电路通过继电器使压电陶瓷通电，压电陶瓷产生形变，实现下调节托盘上移的动作。

液盘上有径向U形的通液槽和环形的导电环槽。

本实用新型的有益效果：

本实用新型利用压电陶瓷通电后的变形，通过压电陶瓷举升液膜机构，举起液膜，使探针的针尖及时离开液膜；压电陶瓷通电后，压电陶瓷可推动滑块向上运动；

本实用新型的优点：

1．在制作扫描隧道显微镜的探针中，下端探针与探针分离后，压电陶瓷举升液膜机构能及时举起液膜，使探针的针尖及时离开NaOH水溶液的液膜并断电，停止探针的针尖的电解，防止探针的针尖变钝，提高探针的针尖制作质量。

2．液盘上液环通过径向U形的通液槽补充液膜所需的NaOH水溶液，液环的体积比液膜的体积大，可保证在导电环上形成液膜。

3．通过增加控制器，改变压电陶瓷的电流，可通过滑块、液盘和导电环，改变液膜的上移量，实现液膜和探针的针尖相对垂直位置的微调。

本实用新型使探针的针尖及时离开液膜，防止探针的针尖变钝，提高探针的针尖制作质量。

附图说明：

图1为具有压电陶瓷举升液膜机构的制作扫描隧道显微镜探针的装置。

图2为图1的A-A剖面放大图。

图3为图1中压电陶瓷举升液膜机构的放大图。

图4为探针棒。

图5为液盘。

图6为图5的俯视图。

图7为探针下端的针尖在液膜中和下端探针向下脱落的示意图。

图8为压电陶瓷举升液膜机构举起液膜和探针的针尖离开液膜的示意图。

图9为探针。

图中：1支架；2下调节架；3下调节托盘；4上调节架；5导电板；6探针夹；7探针棒；8探针轴线；9电池；10导线；11控制器；12液盘；13液环；14导电环；15液膜；16滑块；17压电陶瓷；18通液槽；19导电环槽；20探针；21下端探针。

具体实施方式：

本实用新型压电陶瓷举升液膜机构及具有压电陶瓷举升液膜机构的制作扫描隧道显微镜探针的装置如图1〜6所示，探针下端的针尖在液膜中和下端探针向下脱落如图7所示，压电陶瓷举升液膜机构举起液膜和探针的针尖离开液膜如图8所示，探针如图9所示。

在一种用于制作探针的压电陶瓷举升液膜机构中，具有压电陶瓷举升液膜机构的制作扫描隧道显微镜探针的装置(见图1) 包括支架1、下调节架2、下调节托盘3、上调节架4、导电板5、探针夹6、电池9、导线10、控制器11、液盘12、导电环14、滑块16和压电陶瓷17，其中，压电陶瓷举升液膜机构包括下调节托盘3、电池9、导线10、控制器11、液盘12、导电环14、滑块16和压电陶瓷17；下调节架2和上调节架4均与支架1连接，导电板5与上调节架4联接，探针夹6与导电板5联接；下调节托盘3与下调节架2联接；电池9的正、负极通过导线10分别导电板5和控制器11连接；中心有孔的导电环14固定在液盘12的导电环槽19中，液盘12与下调节托盘3连接并可相对下调节托盘3移动，滑块16和压电陶瓷17安装托盘3的孔中，滑块16在压电陶瓷17的上方，滑块16紧靠在液盘12的底面，滑块16可相对托盘3移动，压电陶瓷17与供电电源连接。供电电源为压电陶瓷提供电源，通过断开和接通供电电源，对压电陶瓷进行控制。