[实用新型]掩模片和掩模板

权利要求书

1.一种掩模片，其特征在于，包括：

至少一个掩模区域；以及

围绕所述掩模区域的周边区域，

其中，所述掩模片位于所述周边区域的至少一个边缘部包括厚度减薄部。

2.根据权利要求1所述的掩模片，其特征在于，所述掩模片具有一延伸方向，所述至少一个边缘部包括沿所述延伸方向延伸的第一边缘部和第二边缘部，所述第一边缘部和所述第二边缘部包括所述厚度减薄部。

3.根据权利要求1或2所述的掩模片，其特征在于，所述厚度减薄部包括上厚度减薄部或下厚度减薄部，所述上厚度减薄部为从所述掩模片的上表面去除部分厚度得到的，所述下厚度减薄部为从所述掩模片的下表面去除部分厚度得到的。

4.根据权利要求1或2所述的掩模片，其特征在于，所述厚度减薄部的横截面形状包括阶梯形或梯形。

5.一种掩模板，其特征在于，包括：

第一掩模片，包括至少一个第一掩模区域以及围绕所述第一掩模区域的第一周边区域，所述第一掩模片位于所述第一周边区域的至少一个边缘部包括上厚度减薄部；以及

第二掩模片，包括至少一个第二掩模区域以及围绕所述第二掩模区域的第二周边区域，所述第二掩模片位于所述第二周边区域的至少一个边缘部包括下厚度减薄部，

其中，所述第一掩模片和所述第二掩模片交替设置，且相邻的所述第一掩模片和所述第二掩模片的所述上厚度减薄部和所述下厚度减薄部至少部分交叠设置。

6.根据权利要求5所述的掩模板，其特征在于，所述第一掩模片具有第一延伸方向，所述第一掩模片包括位于所述第一周边区域且沿所述第一延伸方向延伸的第一边缘部和第二边缘部，所述第一边缘部和所述第二边缘部包括所述上厚度减薄部；

所述第二掩模片具有第二延伸方向，所述第二掩模片包括位于所述第二周边区域且沿所述第二延伸方向延伸的第三边缘部和第四边缘部，所述第三边缘部和所述第四边缘部包括所述下厚度减薄部。

7.根据权利要求5所述的掩模板，其特征在于，所述第一周边区域和所述第二周边区域的厚度相同，交叠设置的所述上厚度减薄部与所述下厚度减薄部的整体厚度与所述第一周边区域和/或所述第二周边区域的厚度相同。

8.根据权利要求5所述的掩模板，其中，所述上厚度减薄部和所述下厚度减薄部的横截面形状包括阶梯形、或梯形。

9.根据权利要求6所述的掩模板，其特征在于，还包括：

框架，包括一开口；

多个支撑条，各所述支撑条的两端固定设置在所述框架上，

其中，所述第一掩模片和所述第二掩模片交替设置在所述支撑条上，并固定设置在所述框架上以将所述开口完全遮挡。

10.根据权利要求9所述的掩模板，其特征在于，所述支撑条在所述第一掩模片上的正投影落入所述第一掩模片的所述第一周边区域，所述支撑条在所述第二掩模片上的正投影落入所述第二掩模片的所述第二周边区域。

11.根据权利要求9所述的掩模板，其特征在于，所述框架包括支撑条安装面，各所述支撑条的两端固定设置在所述支撑条安装面上。

12.根据权利要求9所述的掩模板，其特征在于，所述第一延伸方向和所述第二延伸方向垂直于所述支撑条的第三延伸方向。

13.根据权利要求6所述的掩模板，其特征在于，所述掩模板不设置沿所述第一延伸方向并位于相邻的所述第一掩模片和所述第二掩模片之间的覆盖条。