[实用新型]一种用于精密磨削加工的行星式研磨装置

权利要求书

1.一种用于精密磨削加工的行星式研磨装置，它包括机壳（1）；其特征在于，所述机壳（1）上设置有下铜盘（2），位于下铜盘（2）上方的正对位置设置有研磨组件，所述研磨组件包括驱动电机（11）、气缸（14）、压力平衡补偿器（15）、中心转轴（6）以及上铜盘（3）；所述驱动电机（11）上设置有的直齿轮（10）与固定在中心转轴（6）上的圆柱齿轮（9）相啮合，带动上铜盘（3）及设置在上铜盘（3）上的上盘盖（4）转动；所述上盘盖（4）上设置有流液环（7），流液环（7）的内圈上设置有挡水罩（8）；所述的中心转轴（6）通过轴套固定有上连接板（12）和下连接板（13），所述气缸（14）和压力平衡补偿器（15）设置在下连接板（13）底部，气缸（14）的推杆与上连接板（12）固定设置。

2.根据权利要求1所述的一种用于精密磨削加工的行星式研磨装置，其特征在于，所述上盘盖（4）上设置有多个喷淋头（401），冷却液的喷洒方向均朝向圆心位置。

3.根据权利要求1所述的一种用于精密磨削加工的行星式研磨装置，其特征在于，所述机壳（1）上设置有水锅组件（18），所述水锅组件（18）的出液口处连接有锥形弯头（181）。

4.根据权利要求3所述的一种用于精密磨削加工的行星式研磨装置，其特征在于，所述的水锅组件（18）上设置有齿圈托架（16），所述机壳（1）上连接有可绕齿圈托架（16）转动的中盘（17），所述中盘（17）与下铜盘（2）固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种用于精密磨削加工的行星式研磨装置，其特征在于，所述中盘（17）设置为起导流作用的锥度结构。

6.根据权利要求1所述的一种用于精密磨削加工的行星式研磨装置，其特征在于，所述圆柱齿轮（9）的外侧设置有合盖（5），所述合盖（5）固定于下连接板（13）上。