[实用新型]一种真空计隔离装置

权利要求书

1.一种真空计隔离装置，适用于真空计，所述真空计应用在半导体制造过程中的各反应腔体上；其特征在于，包括一隔离腔室，所述隔离腔室下方设置有一连接所述真空计的第一开口，所述隔离腔室的一侧设置有一连接所述反应腔体的第二开口，还包括：

隔离手阀，包括：

伸缩杆，设置于所述隔离腔室内；

把手，设置于所述隔离腔室未设置有所述第二开口的一侧的外部，所述把手连接在所述伸缩杆伸出所述隔离腔室的一端；

封闭部件，设置于所述隔离腔室内，所述封闭部件连接在所述伸缩杆未连接所述把手的一端，所述封闭部件的尺寸适配于所述第二开口并对所述第二开口形成密封；

所述隔离手阀在所述把手的带动下朝向或者背向所述第二开口运动；

第一气体通道，通过一第三开口接入所述隔离腔室，所述第一气体通道未连接所述第三开口的一端连接一惰性气体的气体发生源。

2.如权利要求1所述的真空计隔离装置，其特征在于，所述伸缩杆包括波纹管以及被包裹在波纹管内的螺杆。

3.如权利要求1所述的真空计隔离装置，其特征在于，于所述第一气体通道上设置有一第一气体阀门。

4.如权利要求1所述的真空计隔离装置，其特征在于，还包括：

第二气体通道，通过一第四开口接入所述隔离腔室，所述第二气体通道未连接所述第四开口的一端连接一真空泵。

5.如权利要求4所述的真空计隔离装置，其特征在于，于所述第二气体通道上设置有一第二气体阀门。

6.如权利要求1所述的真空计隔离装置，其特征在于，还包括：

泄压阀门，设置在所述隔离腔室上的一第五开口处。

7.如权利要求1所述的真空计隔离装置，其特征在于，于所述封闭部件接触所述第二开口的一面的两端分别设置一缓冲垫片。