[实用新型]真空吸附平台以及真空吸附系统

权利要求书

1.一种真空吸附平台，包括底板以及与所述底板围合形成密封空腔的吸附面板，所述底板设置有与所述密封空腔连通的通孔，其特征在于：所述吸附面板具有吸附平面，所述吸附平面上开设有散开分布的若干微孔，各所述微孔均与所述密封空腔连通，所述密封空腔内设置有至少一个隔板，所述隔板分隔所述密封空腔为多个密封空间，所述吸附平面对应每一所述密封空间处均具有多个所述微孔，各所述微孔的直径为0.2-0.4mm。

2.如权利要求1所述的真空吸附平台，其特征在于：所述底板上设置有多个所述通孔，各所述通孔与各所述密封空间一一对应，且每一所述通孔连通对应所述密封空间。

3.如权利要求2所述的真空吸附平台，其特征在于：还包括导管，其中至少一个所述通孔通过所述导管连通对应所述密封空间。

4.如权利要求1所述的真空吸附平台，其特征在于：每一所述密封空间对应的各所述微孔沿直线形式阵列分布。

5.如权利要求1所述的真空吸附平台，其特征在于：其中至少部分所述密封空间均呈长条状，且至少部分所述密封空间的长度延伸方向相互垂直。

6.如权利要求1所述的真空吸附平台，其特征在于：所述底板与所述吸附面板之间通过若干连接螺钉可拆卸连接。

7.如权利要求1所述的真空吸附平台，其特征在于：还包括安设于所述通孔处的气管接头，所述气管接头连通所述密封空腔。

8.一种真空吸附系统，包括真空泵，其特征在于：还包括如权利要求1-7任一项所述的真空吸附平台，所述真空泵连通所述通孔。