[实用新型]一种用于样品固定面不规则的扫描电镜样品台有效
申请号: | 201720327057.1 | 申请日: | 2017-03-30 |
公开(公告)号: | CN206546812U | 公开(公告)日: | 2017-10-10 |
发明(设计)人: | 陈志民;王瑞娟;吴奇隆;冯丽;王鸿杰;王朋旭;禹润缜;李书珍;陈永 | 申请(专利权)人: | 郑州大学 |
主分类号: | H01J37/20 | 分类号: | H01J37/20 |
代理公司: | 郑州天阳专利事务所(普通合伙)41113 | 代理人: | 蔡文雅 |
地址: | 450001 河南省郑*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 样品 固定 不规则 扫描电镜 | ||
1.一种用于样品固定面不规则的扫描电镜样品台,包括台体,其特征在于,台体(1)上设置有互相交叉呈“井”字形的棱条(3),棱条(3)将台体(1)分割成若干个区间,每个区间内均设置有不规则沟槽(2),沟槽(2)内填充有橡皮泥(4)。
2.根据权利要求1所述的用于样品固定面不规则的扫描电镜样品台,其特征在于,所述的台体为圆形或方形。
3.根据权利要求1所述的用于样品固定面不规则的扫描电镜样品台,其特征在于,所述的沟槽(2)数量有9个,根据台体(1)上呈“井”字形的棱条(3)分割而成。
4.根据权利要求1所述的用于样品固定面不规则的扫描电镜样品台,其特征在于,所述的沟槽(2)具有一定深度,且沟槽的深度小于台体(1)的厚度。
5.根据权利要求1所述的用于样品固定面不规则的扫描电镜样品台,其特征在于,所述的沟槽(2)深度为台体(1)厚度的1/4至3/4。
6.根据权利要求1所述的用于样品固定面不规则的扫描电镜样品台,其特征在于,所述的沟槽(2)为高低不平、互相交叉的沟壑状。
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