[实用新型]一种流体动压抛光装置

权利要求书

1.一种流体动压抛光装置，其特征在于，该装置包括：

气囊抛光工具；

用于互相配合以控制所述气囊抛光工具与待抛光工件之间间隙距离的精密测力台与精密位移台；

用于在抛光时向所述气囊抛光工具与待抛光工件之间供给抛光液的抛光液供给系统，以使所述抛光液在被控制转动的气囊抛光工具的带动下在待抛光工件与气囊抛光工具之间产生流体动压；

其中，所述精密测力台位于所述精密位移台之上，待抛光工件位于所述精密测力台之上。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述精密测力台与精密位移台互相配合以控制所述气囊抛光工具与待抛光工件之间间隙距离的方式包括：

所述精密测力台测量所述气囊抛光工具在转动靠近所述待抛光工件的过程中，对所述待抛光工件的作用力是否达到预设压力范围；

若对所述待抛光工件的作用力达到了所述预设压力范围，控制所述气囊抛光工具停止转动靠近，并调节所述精密位移台使所述待抛光工件逐渐远离所述气囊抛光工具直至所述精密测力台测量的压力值首次为零。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述气囊抛光工具包括球形橡胶气囊以及贴附于所述球形橡胶气囊外表面的聚氨酯材质的抛光垫。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，该装置还包括用于对所述气囊抛光工具进行修整以矫正存在的误差因素的精密修整工具，其中，所述误差因素包括所述球形橡胶气囊的制造误差、所述抛光垫的厚度误差以及所述球形橡胶气囊与抛光垫的粘贴误差。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述气囊抛光工具在抛光时倾斜预设角度以使所述气囊抛光工具的转动轴线与待抛光工件加工点的法线形成所述预设角度的进动角。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述精密测力台还用于检测获取抛光过程中所述待抛光工件被作用的正向力和反向力数据，以用于分析和优化所述抛光过程。

7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述抛光液供给系统还用于在抛光时对抛光液供给量和抛光液浓度进行实时控制，并回收从所述气囊抛光工具周围排出的抛光液进行过滤以循环供给。

8.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述待抛光工件、精密测力台和精密位移台之间通过磁力挡块装夹。

9.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述精密测力台为检测分辨率小于或等于1牛顿的精密测力仪器。

10.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述精密位移台为位移分辨率小于或等于0.5微米，行程大于或等于10毫米的精密位移仪器。