[实用新型]溅蚀收集装置及溅蚀测定设备

权利要求书

1.一种溅蚀收集装置，其特征在于，所述溅蚀收集装置包括收集盘和多个收集容器；所述收集盘上设置有多个凹槽，所述凹槽为环形或弧形，且所述多个凹槽的圆心相同；

所述收集容器的数量与所述凹槽的数量相等，且二者一一对应；每个凹槽内具有与对应的收集容器连通的导流孔；

所述溅蚀收集装置包括底托，所述底托上表面用于放置收集盘，所述多个凹槽的圆心位置放置有装土盘，所述底托下表面铰接有多根支撑柱，且所述支撑柱的长度可调，用于调节所述底托的坡度。

2.根据权利要求1所述的溅蚀收集装置，其特征在于，所述凹槽为弧形，且每个所述凹槽的圆心角为90°。

3.根据权利要求1所述的溅蚀收集装置，其特征在于，自所述凹槽底向开口方向，所述凹槽的宽度逐渐增加。

4.根据权利要求1所述的溅蚀收集装置，其特征在于，在所述多个凹槽所在平面内，至少有一个位于所述多个凹槽外侧的定点，在过该定点与所述多个凹槽共同圆心的方向上，所述多个凹槽的最靠近所述定点方向的位置处设置有与所述收集容器连通的导流孔。

5.根据权利要求1所述的溅蚀收集装置，其特征在于，自所述凹槽端部向对应设置在该凹槽内的所述导流孔所在位置的方向，所述凹槽的深度逐渐增加。

6.根据权利要求1所述的溅蚀收集装置，其特征在于，所述装土盘的盘面与收集盘的盘面平齐，所述装土盘的下底面设置有排水孔，且所述装土盘与最内侧的所述凹槽之间具有缝隙，用于防止所述装土盘内积水流入收集盘。

7.根据权利要求1所述的溅蚀收集装置，其特征在于，所述收集盘上表面设置有坡度仪。

8.一种溅蚀测定设备，其特征在于，包括权利要求1-7任意一项所述的溅蚀收集装置。