[实用新型]一种多晶硅铸锭炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及多晶硅锭生产技术领域，特别涉及一种多晶硅铸锭炉。

背景技术

铸锭炉是专为太阳能工业中多晶硅铸锭重熔的必需设备，重熔质量的好坏将直接影响硅片转换效率和硅片加工的成品率。该设备能自动或手动完成铸锭过程，高效节能，运用先进的计算机控制技术，实现稳定定向凝固，生产的多晶硅硅锭质量高，规格大。

现有的多晶硅铸锭炉设备都是通过保温层的运动，配合上配方温度，来形成铸锭炉所需要的温度梯度。当加热器的功率配比确定，加热器在坩埚内形成的等温线形状也是确定的。但在很多时候，铸锭炉工艺过程中需要不止一种等温线形状，所以现有技术还有一种双电源结构的铸锭炉加热器。但该双电源结构的铸锭炉加热器受制于加热器位置的固定，单纯双电源的改变功率配比对等温线形状的影响很小，甚至带来负面影响。

实用新型内容

本实用新型提供了一种多晶硅铸锭炉，以改善铸锭炉内等温线分布，提高多晶硅铸锭的品质和效率，并降低能耗。

为达到上述目的，本实用新型提供以下技术方案：

一种多晶硅铸锭炉，包括炉体、顶隔热层、底隔热层、侧隔热层、顶加热器、侧加热器，加热器移动装置和坩埚，其中，所述顶隔热层、底隔热层和侧隔热层拼装包覆于所述坩埚外侧，所述加热器移动装置与所述侧加热器电连接、且承载和带动所述侧加热器移动。

优选的，所述多晶硅铸锭炉还包括控制器，所述控制器与所述加热器移动装置相连接，所述控制器控制所述顶加热器和侧加热器的工作状态，并通过所述加热器移动装置控制所述侧加热器的运动状态。

优选的，所述侧加热器的位置沿竖直方向可调。

优选的，所述侧隔热层的位置沿竖直方向高度可调，当所述侧隔热层上升时，所述侧隔热层与所述底隔热层之间具有开口。

优选的，所述多晶硅铸锭炉还包括双电源结构，所述双电源结构具有两个独立的子电源，所述两个子电源分别与所述顶加热器和侧加热器相连接。

优选的，所述炉体与所述双电源结构绝缘。

优选的，所述多晶硅铸锭炉还包括真空系统，所述真空系统用于维持铸锭炉工作时的内部真空度。

优选的，所述多晶硅铸锭炉还包括设置于炉体内的检测系统，所述检测系统具体包括温度检测模块、压力检测模块、红外检测模块、泄露检测模块和流量检测模块中的至少一个。

优选的，所述炉体为不锈钢炉体。

本实用新型实施例提供的多晶硅铸锭炉，为侧加热器配置了加热器移动装置，从而具备了目前所有铸锭炉没有的侧加热器的移动功能。通过侧加热器的上下移动，配合侧隔热层的开度，再结合双电源的功率配比调节，能够更加灵活的改善铸锭炉内等温线分布，提高多晶硅铸锭的品质和效率，并降低能耗。

附图说明

图1为本实用新型一实施例提供的多晶硅铸锭炉的结构示意图；

图2为本实用新型另一实施例提供的多晶硅铸锭炉的结构示意图；

图3为本实用新型又一实施例提供的多晶硅铸锭炉的结构示意图；

图4为本实用新型再一实施例提供的多晶硅铸锭炉的结构示意图。

附图标记：

1-炉体

2-顶隔热层

3-底隔热层

4-侧隔热层

5-顶加热器

6-侧加热器

7-加热器移动装置

8-坩埚

9-控制器

10-双电源结构

100-子电源

具体实施方式

为改善铸锭炉内等温线分布，提高多晶硅铸锭的品质和效率，并降低能耗。本实用新型实施例提供了一种多晶硅铸锭炉。为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，以下举实施例对本实用新型作进一步详细说明。

参考图1，本实用新型一种实施例提供的多晶硅铸锭炉，包括炉体1、顶隔热层2、底隔热层3、侧隔热层4、顶加热器5、侧加热器6，加热器移动装置7，和坩埚8，其中，顶隔热层2、底隔热层3和侧隔热层4拼装包覆于坩埚8外侧，加热器移动装置7与侧加热器6电连接、且承载和带动侧加热器6移动。

本实用新型实施例提供的多晶硅铸锭炉，为侧加热器配置了加热器移动装置，从而具备了目前所有铸锭炉没有的侧加热器的移动功能。通过侧加热器的上下移动，配合侧隔热层的开度，再结合双电源的功率配比调节，能够更加灵活的改善铸锭炉内等温线分布，提高多晶硅铸锭的品质和效率，并降低能耗。