[实用新型]一种取晶车

说明书

技术领域

本实用新型涉及单晶制造辅助设备，特别涉及一种取晶车。

背景技术

单晶硅的制作工艺其中一步是拉晶，所谓拉晶就是用拉晶炉把多晶硅加热融化，再用子晶向上拉引，慢慢形成一个长筒状的单晶棒，在单晶棒从单拉晶炉中出来的时候需要采用取晶车进行接送。

取晶车通常包括车架，在车架上会设置有接收晶棒的支撑架，所述支撑架呈长条状设置，在支撑架的底部设置有用于定位晶棒的支撑座，所述支撑架整体可以沿车架从平行于车架的方向旋转至垂直于车架方向，在支撑架垂直于车架的时候，所述车架上还设置有用于推动支撑架在垂直方向上升降的升降机构，在支撑架上升至与拉晶炉高度相仿处将晶棒承接住后，支撑架再退回至原位，在旋转至与车架平行的状态，通过外部的液压机械手将晶棒从支撑架内取出。

如申请号为201520065572.8公开的一种晶棒装卸车，该专利中记载了晶棒框通过滚珠丝杠的方式带动拉杆连接件去驱动旋转架完成旋转动作，滚珠丝杠是一种高精度精密传送件，而且滚珠丝杠在造价上高昂并不是适用于大量市场推广，另外的话，拉杆连接件带动晶棒框运动不平稳。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种取晶车，提高了运动的平稳性，并且降低造价成本，便于推广。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种取晶车，包括有车架以及支撑架，所述车架上设置有用于推动支撑架升降的驱动组件，所述车架上设置有驱动支撑架转动的翻转组件，所述翻转组件固定于车架上的基板以及轴向定位于基板上的转轴且所述转轴可周向旋转，所述驱动组件包括驱动底板，所述驱动底板转动连接于转轴上，所述驱动底板与车架之间设置有推动驱动底板翻转的液压油缸，所述液压油缸一端铰接于车架上，另一端则铰接于驱动底板上。

进一步的，所述基板上设置有两个轴承座，所述转轴轴向定位于两个轴承座之间，所述驱动底板上设置有两个与转轴连接的连接座，所述连接座上设置有与转轴配合的贯穿孔，所述贯穿孔与转轴之间间隙配合。

进一步的，所述驱动底板上设置有与液压油缸铰接连接的铰接座，所述铰接座位于两个连接座的中心位置处且所述铰接座位于连接座的上方。

进一步的，所述车架相对于翻转组件的另一侧端部设置有支撑组件，所述支撑组件包括有固定于车架上的支撑座以及定位于支撑座内支撑杆，所述支撑座内设置有轴向位移孔，所述支撑杆定位于位移孔内，所述支撑杆上设置有抵接环，所述抵接环与位移孔的孔径相配合，所述支撑杆上套设有缓冲弹簧且所述缓冲弹簧位于限位环与支撑座的底部之间。

进一步的，所述支撑杆于外侧端部呈球面设置。

进一步的，所述支撑座上设置有行程开关，所述行程开关与支撑杆高度相同。

进一步的，所述支撑组件设置有两组，且两组所述支撑组件沿车架的宽度方向间隔设置。

采用上述结构，驱动组件控制支撑架整体的升降，而液压油缸推动驱动底板绕转轴旋转，液压油缸的伸缩端的伸长可以推动支撑架从水平方向翻转至90度的垂直方向，液压油缸的伸缩端的缩短，液压油缸绕其在车架一端的铰接点旋转，使得液压油缸趋于与车架平行从而使得支撑架实现从90度到水平位置的切换，采用液压油缸替代滚珠丝杠，液压油缸具有运动平稳的优点，另外简化了现有技术中结构，降低了造价。

附图说明

图1是立体结构示意图；

图2是另一视角立体结构示意图；

图3是支撑组件爆炸结构示意图。

图中，1、车架；2、支撑架；21、定位板；22、基座；23、承接座；24、连接杆；25、槽钢；26、连接组件；3、翻转组件；31、基板；32、转轴；33、轴承座；4、驱动组件；41、驱动底板；42、铰接座；43、连接座；44、贯穿孔；5、液压油缸；6、支撑组件；61、行程开关；62、支撑杆；63、抵接环；64、盖体；65、缓冲弹簧；66、支撑座；67、位移孔。

具体实施方式